高速・高精度デジタル変位センサ　EX-Vシリーズ

高速&高性能

新開発・リニアリティ補正回路（FLL回路）搭載。高周波磁界を応用した渦電流方式の能力を飛躍的に高め、クラス最高の高精度・高速サンプリングを実現しました。

一瞬の変化も確実にキャッチ		ディスクの面ぶれ測定



高速デジタル処理回路の採用により、従来のサンプリング速度では検出できない真のピーク（ボトム）値を正確に捉えることができます。		ディスクの面ぶれを偏心モードで検出します。

高精度を実現するFLL回路		X-Yステージの原点位置確認



センサヘッド個々の特性をもとに最適な直線補正をかけるFLL回路（Flat Level Linearize回路）を搭載。簡単な設定でクラス最高の高精度測定を実現します。		0.4μmの分解能で原点位置を高精度に測定します。