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0120-1004-41
フルステンレス構造+保護構造IP67
[空気圧]
濡れた基板の吸着搬送
濡れた基板の吸着・搬送で、吸着時の圧力確認を行ないます。
従来方法では
濡れた状態での吸着があるため、ミストでシリコンダイヤフラムの圧力センサがよく壊れていました。
また、一体型で表示が見にくい場所に設置され、目視での確認も大変でした。
改善のご提案
ステンレスのダイヤフラムと本体の一体化構造により、頑丈で壊れにくいボディを実現。
保護構造はIP67なので丸洗いも可能です。
この商品で実現できます
耐環境アンプ分離型
AP-V80シリーズ
商品をみる
詳しい改善内容をお知りになりたい方、その他個別のご相談は
こちらまでお電話ください。
0120-1004-41
急激な圧力変動をキャンセルし、安定検出
[水圧]
洗浄水の吐出圧管理
純水(洗浄液)を安定して供給するために、レギュレータとフィルタの間に圧力センサを設置。フィルタの目詰まりを防ぎ、洗浄低下を未然に防ぎます。
従来方法では
圧力スイッチにて制御していました。
元圧変動による一瞬の圧力変化を検出したり、ウォーターハンマーの影響を受けたりして誤判定していました。
改善のご提案
脈動やウォーターハンマーによる一瞬の圧力変化をキャンセルし、通常の圧力のみを検出するチャタリング防止機能を内蔵しています。
高圧ヘッドには脈動やサージ圧を緩和するスロットルを採用し、壊れにくい構造です。
この商品で実現できます
耐環境アンプ分離型
AP-V80シリーズ
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