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狭いピッチの配管にも設置可能

「［洗浄液］基板洗浄液の供給管理」の画像
［洗浄液］

基板洗浄液の供給管理
枚葉洗浄装置で使用される洗浄液の流量管理を行ないます。
 
従来方法では  
配管のピッチが狭く、他社の流量計では設置できなかったため、 目視で流れているかを確認していました。
使用量が把握できず、供給過多になっていました。
 
改善のご提案  
ヘッドは業界最薄の20mm幅で、狭い配管にも並べて取り付けられるなど、配管部の省スペース化が可能です。
フッ素樹脂のPFAヘッドにより各種薬液や純水の検出が可能です。
この商品で実現できます
液体用アンプ分離型
FD-V70シリーズ
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貫通構造でメンテナンス性向上
「［スラリー液体］スラリー液体の流量チェック」の画像
［スラリー液体］

スラリー液体の流量チェック
ポリシング装置のスラリー液体の供給量チェックを行ないます。
 
従来方法では  
フローメーターにて流れているかいないかだけを確認していました。
含まれる粒子により、流量計内部が摩耗したり、粒子が凝固して詰まりの原因になっていました。
 
改善のご提案  
流路が可動部なしの貫通構造なので、粘性の高い液体でも 摩耗や詰まりが発生しにくくなっています。
2つのON/OFF出力により異常状態を信号にてお知らせします。
この商品で実現できます
液体用電磁式アンプ
一体型/分離型
FD-Mシリーズ
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