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コリオリ式デジタル流量センサ FD-Sシリーズ

仕様

センサヘッド
センサヘッド（PFAタイプ）
分離表示ユニット

センサヘッド（SUSタイプ）

※SUSタイプはセンサヘッド単体での使用が可能です（別途出力ケーブルが必要）

種類		超微少流量タイプ	微少流量タイプ	中流量タイプ
型式	NPN/PNP 切替出力	FD-SS02A	FD-SS2A	FD-SS20A
定格流量範囲※1		0～200ml/min	0～2000ml/min	0～20l/min
使用可能流体		水・油・非腐食性液体
密度指定範囲		0.3～2.0g/cm3
低密度ゼロカット※2		初期値0.5g/cm3（0～2.0g/cm3の間で変更可能）
ゼロカット流量初期値※3		10ml/min	100ml/min	1L/min
ゼロカット設定範囲		0～400ml/min	0～4000ml/min	0～40L/min
接続口径		Rc1/4	Rc1/4	Rc3/8
パイプ内径		φ1.0mm×2本	φ2.1mm×2本	φ5.0mm×2本
使用流体温度		0～100 ℃（凍結・沸騰なきこと）
使用圧力範囲※4		5MPa以下（60℃以上 1MPa以下）
耐圧力※4		10MPa以下（60℃以上 2MPa以下）
圧力損失	水：粘度1cSt、 FSのとき	0.03MPa以下	0.06MPa以下	0.1MPa以下
圧力損失	粘度30cSt、 FS/2のとき	0.3MPa以下	0.2MPa以下	0.1MPa以下
表示方式		4桁7セグメントLEDによる2段表示（上段現在値：赤色、下段設定値：緑色）
動作表示灯		出力：赤LED×2（制御出力1・2）、設定インジケータ：緑LED×2、バンク表示灯：緑LED、アラーム表示灯：赤LED、ステータス表示灯（赤点灯：振動警告、緑点灯：満水（正常）、緑点滅：気泡混入警告）：赤・緑LED、フローインジケータ：赤・緑LED×3
表示分解能（rESoモード時）	スタンダードモード	0.1ml/min	1ml/min	0.01l/min
表示分解能（rESoモード時）	フォーカスモード※11	－	0.1ml/min	1ml/min
精度※5	直線性	0～25％ of F.S.時：±1％ of F.S. 25～100％ of F.S.時：±4％ of Rdg
精度※5	ゼロ点安定性※6	±1％ of F.S.
繰返し精度		50ms～100ms：±3％ of F.S.、0.5s～1s：±1％ of F.S.、 2.5s～60s：±0.5％ of F.S.
応差（ヒステリシス）		可変
応答時間（チャタリング防止）		50ms/100ms/500ms/1s/2.5s/5s/10s/30s/60s 可変
積算流量単位	スタンダードモード	0.1/1/10/100/1000（ml）から選択可能	1/10/100/1000/10000（ml）から選択可能	0.01/0.1/1/10/100（L）から選択可能
積算流量単位	フォーカスモード※11	－	0.1/1/10/100/1000(ml) から選択可能	1/10/100/1000/10000(ml) から選択可能
積算データ記憶周期		10秒ごとにメモリに書き込み
メモリバックアップ		EEPROM （データ記憶期間：10年以上、データ書き換え可能回数：100万回以上）
制御出力/ 積算パルス出力/ 異常警報出力※7		NPNオープンコレクタ最大100mA/ch（40V以下）、 PNPオープンコレクタ最大50mA/ch（電源電圧24V以下）、残留電圧NPN：1V以下、PNP：2V以下、3出力（N.O./N.C.切換可能）
積算リセット/ バンク切換※8/ ゼロ調整/流量ゼロ		無電圧入力（有接点、無接点）入力時間20ms以上、入力は2点選択式
アナログ出力		4-20mA　最大負荷抵抗260Ω アナログ出力レンジを任意に設定可能
電源電圧		DC24V ±10％、リップル（P-P）±10％以下
消費電力（消費電流）		通常時：2200mW（90mA）、エコモード：1700mW（70mA）
耐電圧（電源・信号線－本体金属部間）※9		コンデンサアースのため規定されていません
絶縁抵抗（電源・信号線－本体金属部間）※9		コンデンサアースのため規定されていません
保護構造		IP65
耐環境性	使用周囲温度	0～＋50℃（氷結しないこと）
	使用周囲湿度	35～85％RH（結露しないこと）
	耐振動	10～55Hz　複振幅0.15mm　X、Y、Z、各方向2時間
材質	接液部※10	通水部：SCS14・SUS316L・PPS O リング：フッ素ゴム（FKM)
材質	接液部以外	ケース樹脂部：PBT/PPS、ケーブル：PVC
質量		約1600ｇ	約1650ｇ	約2100ｇ

※1 定格流量範囲の2倍まで表示可能です。
流体の密度が1.00g/cm3の時の範囲です。
密度が1.0g/cm3を超えた場合、定格流量範囲×2/密度まで表示できます。
密度が1.0以下の場合、定格流量範囲×2まで表示できます。
フォーカスモード使用時は定格流量範囲は変更ありませんが、流量表示範囲はFD-SS2A：0-400ml/min、FD-SS20A：0-4000ml/min
※2 密度ゼロカット以下のとき、流量は0L/min表示になります。密度ゼロカットは積算流量に反映されます。
フォーカスモード使用時はゼロカット流量初期値はFD-SS2A：10ml/min　FD-SS20A：100ml/min
※3 ゼロカット流量以下の流量は0L/min表示になります。ゼロカットは積算流量に反映されます。
※4 詳しくは特性図をご参照ください。
※5 精度については、出荷時調整設備において常温の水（約25℃）を使用し、30秒間の積算量の誤差により規定しています。
お使いの液体や気泡混入・振動の状態、検出部配管の汚れの状態によりズレが大きくなる可能性があります。
温度特性による直線性とゼロ点安定性の変動分は、次の参考値が加算されます。
【±0.02% of Rdg/℃（直線性）】+【±0.1% of F.S./℃（ゼロ点安定性）】　F.S.（フルスケール）は定格流量を示し、
Rdg（リーディング）は瞬時流量表示を示します。
フォーカスモード使用時の精度は通常時と同じです。
フォーカスモード使用時もF.S.はFD-SS2A：2000ml/min、FD-SS20A：20ℓ/min
※6 ゼロ点安定性は、設置後のゼロ点調整後のズレ量になります。
※7 警報出力は最大20mA
※8 バンク切換選択時は2バンクまで設定可能。
※9 本体金属部と内部回路0V（青線）は、3kV、100pFのコンデンサにより接続されています。
※10 Oリングがフッ素ゴム（FFKM）タイプもラインンアップしておりますのでお問い合わせください。
※11 フォーカスモード使用時は瞬時流量表示範囲は、FD-SS2A：0-400ml/min、FD-SS20A：0-4000ml/min

センサヘッド（PFAタイプ）

タイプ		超微少流量タイプ	微少流量タイプ
型式		FD-SF1	FD-SF8
定格流量範囲※1		0～1000ml/min	0～8l/min
使用可能流体		液体（PFAを腐食しない液体）
密度指定範囲		0.300～2.000g/cm3
低密度ゼロカット※2		初期値0.50g/cm3（0.01～2.00g/cm3の間で変更可能）
ゼロカット流量初期値※3		50ml/min	0.4l/min
ゼロカット流量※3		0～2000ml/min	0～16l/min
プロセス接続口径（PFAチューブエンド）		4×3mm	3/8"×1/4"（9.53×6.35）
チューブ内径		φ3.0mmループ	φ5.0mm分岐
使用流体温度		10 ～ 60℃（凍結なきこと）
使用圧力範囲※4		1.0MPa以下（25℃）	0. 6MPa以下（25℃）
耐圧力※4		1. 5MPa以下（25℃）	0. 9MPa以下（25℃）
圧力損失（水：粘度1cSt、FS のとき）		0.035MPa以下	0.04MPa以下
表示方式		（なし）設定・表示パネル：FD-SA**A に接続して使用
動作表示灯		アラーム表示灯：赤・緑LED（赤点灯：アラーム、緑点灯：電源）ステータス表示灯：赤・緑LED（赤点灯：振動警告、緑点灯：満水（正常）、緑点滅：気泡混入警告、緑消灯：乾水状態）
表示分解能（rESoモード時）	スタンダードモード	1ml/min	0.01l/min
表示分解能（rESoモード時）	フォーカスモード※5	0.1ml/min	1ml/min
精度※6	直線性	50～100％ of F.S.流量 ±1％ of Rdg（指示値） 20～50％ of F.S.流量 ±2％ of Rdg（指示値） 0～20％ of F.S.流量　±0.4％ of F.S. 再現性（フォーカスモードにて） 0～50ml/min：±1ml/min	25～100％ of F.S.流量 ±1％ of Rdg（指示値） 0～25％ of F.S.流量　±0.25％ of F.S.
精度※6	ゼロ点安定性	±1％ of F.S.※7
応差（ヒステリシス）		可変
応答時間（チャタリング防止）		50ms/100ms/500ms/1s/2.5s/5s/10s/30s/60s可変
積算表示単位	スタンダードモード	0.1/1/10/100/1000/10000（ml）から選択可能	0.001/0.01/0.1/1/10/100（l）から選択可能
積算表示単位	フォーカスモード ※5	0.01/0.1/1/10/100/1000（ml）から選択可能	0.1/1/10/100/1000/10000（ml）から選択可能
積算データ記憶周期		10秒ごとにメモリに書き込み
メモリバックアップ		EEPROM（データ記憶期間：10年以上、データ書き換え可能回数：100万回以上）
制御出力/積算パルス出力/ 異常警報出力		FD-SA**Aより出力（ NPN/PNPオープンコレクタ最大100mA/ch（NPN：40V以下、PNP：30V以下）、残留電圧1V以下）
積算リセット/バンク切換		FD-SA**Aより入力（無電圧入力（有接点、無接点）入力時間20ms以上）
アナログ出力		FD-SA**A より出力（4-20mA 最大負荷抵抗260Ωアナログ出力レンジを任意に設定可能）
電源電圧		FD-SA**Aより供給
消費電力（消費電流）		FD-SA**Aより供給
保護構造		IP65
耐環境性	使用周囲温度	0 ～＋60℃（氷結しないこと）
	使用周囲湿度	35～85％ RH（結露しないこと）
	耐振動	10～55Hz 複振幅 0.075mm　X、Y、Z、各方向2時間
材質	接液部	スーパーPFA	スーパーPFA /ニューPFA
材質	接液部以外	ケース樹脂部：PEI、ケーブル：PVC
質量		約700g	約750g
付属品		取扱説明書

※1 定格流量範囲の2 倍まで表示可能。
フォーカスモード使用時は定格流量範囲は変更ありませんが流量表示範囲はFD-SF1：0～400 ml/min 、FD-SF8：0～4000 ml/min
※2 低密度カット以下のとき、流量は0l/min 表示になります。低密度カットは積算流量に反映されます。
※3 ゼロカット流量以下の流量は0l/min 表示になります。ゼロカットは積算流量に反映されます。
フォーカスモード使用時はゼロカット流量初期値はFD-SF1：10.0 ml/min 、FD-SF8：100ml/min
※4 25℃以上はディレーティング直線に従ってください。ウォーターハンマー等の圧力変動も使用圧力範囲内としてください。
※5 フォーカスモード使用時は瞬時流量表示範囲はFD-SF1：0～400ml/min 、FD-SF8：0～4000ml/min
※6 F.S.（フルスケール）は、定格流量を示し、R d gは瞬時流量表示を示します。
精度については、出荷時調整設備において、25℃で30 秒間の積算量の誤差により規定しています。
フォーカスモード使用時の精度は　通常時と同じです。フォーカスモード使用時もF.S. はFD-SF1：1l/min、FD-SF8：8l/minで算出
※7 定期的なゼロ点調整によりキャンセルできます。
※ 並べて使用する場合、別途規定する間隔をあけて設置してください。

分離表示ユニット

（PFAタイプは必ず必要です）

型式	NPN 出力	DIN取付※1	FD-SA1NA（親機）/FD-SA2NA（子機）
		パネル取付	FD-SA5NA
	PNP 出力	DIN取付※1	FD-SA1PA（親機）/FD-SA2PA（子機）
		パネル取付	FD-SA5PA
増設可能台数（DIN取付のみ）			親機1台に対し、子機は3台まで（合計4台）増設可能
表示方式			4桁7セグメントLEDによる2段表示（上段現在値：赤色、下段設定値：緑色）
動作表示灯			出力：赤LED×2（制御出力1・2）、設定インジケータ：緑LED×2、バンク表示灯：緑LED、アラーム表示灯：赤LED、単位表示LED：緑LED
表示分解能			センサ仕様による
応答時間（チャタリング防止）			（センサ仕様による応答時間）＋20ms
積算表示単位			センサ仕様による
積算データ記憶周期			センサ仕様による
メモリバックアップ			EEPROM（データ記憶期間：10年以上、データ書き換え可能回数：100万回以上）
制御出力/積算パルス出力/ 異常警報出力			NPN/PNPオープンコレクタ最大100mA/ch※2 （NPN：40V以下、PNP：30V以下）、残留電圧1V以下、3出力（N.O./N.C.切換可能）
積算リセット/バンク切換/ ゼロ調整			無電圧入力（有接点、無接点）入力時間20ms以上、入力は1点選択式
アナログ出力			4-20mA 最大負荷抵抗260Ω、アナログ出力レンジを任意に設定可能
電源電圧			DC24V ±10％、リップル（P-P）±10％以下
消費電力（消費電流）			SUSタイプ使用時：2640mW（110mA）、エコモード：1680mW（70mA） PFAタイプ使用時：2200mW（90mA）、エコモード：1680mW（70mA）
耐環境性	使用周囲温度		0～＋ 50℃（氷結しないこと）
	使用周囲湿度		35～85％RH（結露しないこと）
耐振動			10 ～ 55Hz 複振幅1.5mm X、Y、Z、各方向2時間
材質			本体ケース：ポリカーボネイト、キートップ：ポリアセタール、前面シート：ポリカーボネイト、ケーブル：PVC
質量	DIN取付タイプ		約115ｇ
	パネル取付タイプ		約105ｇ