仕様 アンプ分離型気体用流量センサ FD-V40 シリーズ

型式

FD-A1

FD-A10

FD-A50

FD-A100

FD-A250

FD-A600

FD-A10AR

FD-A50AR

FD-A100AR

画像

種類

空気・窒素 (N2) 用

アルゴン (Ar) 用

検出範囲

30 ～ 1,000 mL/min (std)^*1

0.3 ～ 10 L/min (std)^*1

1.5 ～ 50 L/min (std)^*1

3 ～ 100 L/min (std)^*1

7 ～ 250 L/min (std)^*1

18 ～ 600 L/min (std)^*1

0.3 ～ 10 L/min (std)^*1

1.5 ～ 50 L/min (std)^*1

3 ～ 100 L/min (std)^*1

ゼロカット流量

30 mL/min (std)

0.3 L/min (std)

1.5 L/min (std)

3 L/min (std)

7 L/min (std)

18 L/min (std)

0.3 L/min (std)

1.5 L/min (std)

3 L/min (std)

適応流体

空気・窒素 (N2)

アルゴン (Ar)

使用可能流体

ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体 (圧縮空気の場合 ISO 等級 1.1.2 ～ 1.6.2)^*2

使用流体温度

0 ～ +50 ℃ (結露・氷結しないこと)

接続口径

Rc (PT) 1/4

Rc (PT) 1/2

Rc (PT) 1/4

表示方式

フローインジケータ：緑 LED (×4)、出力表示：赤 LED

耐環境性

耐圧力

1.0 MPa

使用圧力範囲

-0.07 ～ 0.7 MPa

使用周囲温度

0 ～ +50 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

10 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間^*3

10 ～ 55 Hz、複振幅 0.75 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間^*3

10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間^*3

耐衝撃

300 m/s²、X,Y,Z 各軸 各方向 10 回 計 60 回

材質

流路部：アルミ、SUS303、SUS304、ポリエーテルイミド、フッ素ゴム、シリコン
配管部：アルミダイカスト、ケース部：ポリサルフォン・PBT

付属品

ヘッドコネクタ 1 個、単位切替シール 1 枚

ヘッドコネクタ 1 個

質量

約 125 g (コネクタケーブル 3 m 付)

約 190 g (コネクタケーブル 3 m 付)

約 125 g (コネクタケーブル 3 m 付)

価格(¥)

43,900

32,900

38,400

43,900

54,900

65,900

32,900

38,400

43,900

型式

FD-V40A

FD-V45A

FD-V40AP

FD-V45AP

画像

種類

DIN 取付

パネル取付

DIN 取付

パネル取付

消費電流

12 V 時

通常

1500mW (125mA)以下

エコモード

1320mW (110mA)以下

24 V 時

通常

2000mW (83mA)以下

エコモード

1700mW (70mA)以下

検出範囲

FD-A1：30 ～ 1,000 mL/min (std)
FD-A10/A10AR：0.3 ～ 10 L/min (std)
FD-A50/A50AR：1.5 ～ 50 L/min (std)
FD-A100/A100AR：3 ～ 100 L/min (std)
FD-A250：7 ～ 250 L/min (std)
FD-A600：18 ～ 600 L/min (std)

表示方式

3 桁 7 セグメント LED による 2 段表示 (上段：赤、下段：緑)、表示更新周期：5 回/秒

動作表示灯

赤色 LED × 2 (制御出力 1 ､2)、緑 LED (積算表示)

分解能

FD-A1：1 mL
FD-A10/A10AR：0.01 L
FD-A50/A50AR/A100/A100AR：0.1 L
FD-A250/A600：1 L

応差 (ヒステリシス)

可変

応答時間 ( チャタリング防止機能)

HSP (5 ms), 0.02, 0.1, 1, 5 秒から選択

積算サンプリング周期

30 ms

積算データ記憶

1 分ごとにメモリ書き込み

積算表示単位

FD-A1：1, 10, 100, 1,000, 10,000 (mL) から選択可能
FD-A10/A10AR：0.01, 0.1, 1, 10, 100 (L) から選択可能
FD-A50/A50AR：0.1, 1, 10, 100, 1,000 (L) から選択可能
FD-A100/A100AR：0.1, 1, 10, 100, 1,000 (L) から選択可能
FD-A250/A600：1, 10, 100, 1,000, 10,000 (L) から選択可能

積算リセット入力

無電圧入力 (有接点、無接点)、入力時間 20 ms 以上 (アナログ出力と切換式)

制御出力/積算パルス出力

NPN オープンコレクタ最大 100 mA 40 V 以下、残留電圧 1 V 以下、2 出力 (N.O./N.C. 切換可)

PNP オープンコレクタ最大 100 mA 30 V 以下、残留電圧 1 V 以下、2 出力 (N.O./N.C. 切換可)

アナログ出力

4 ～ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω

繰り返し精度

FD-A1/A10/A10AR/A50/A50AR/A100A/100AR：±0.5 % of F.S. 以下
FD-A250/A600：±1 % of F.S. 以下
(使用周囲温度 25 ℃ 時)

定格

電源電圧

DC 12 - 24 V、リップル (P-P) 10 % 以下

耐環境性

使用周囲温度

0 ～ +50 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ～ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間

材質

本体、カバー：ポリカーボネート、キートップ：シリコンゴム

付属品

固定金具、電源ケーブル、取扱説明書

パネル取付具、前面保護カバー、電源ケーブル、取扱説明書

固定金具、電源ケーブル、取扱説明書

パネル取付具、前面保護カバー、電源ケーブル、取扱説明書

質量

約 85 g (電源ケーブル込)

約 85 g (パネル取付具、前面保護カバー、電源ケーブル込)

約 85 g (電源ケーブル込)

約 85 g (パネル取付具、前面保護カバー、電源ケーブル込)

価格(¥)

38,400

型式

FD-C1

画像

使用可能流体

圧縮空気、窒素 (N₂)

接続口径

RC (PT) 1/4、R (PT) 1/4

耐環境性

使用圧力範囲

0.05 ～ 0.7 MPa

使用周囲温度

-5 ～ +50 ℃ (結露・氷結しないこと)

材質

ボディ：PBT、金属部：真鍮ニッケルメッキ・内部 O リング、パッキン：ニトリルゴム

質量

約 60 g

価格(¥)

3,300

型式

FD-C5

画像

使用可能流体

空気、窒素 (N₂)

適応チューブサイズ

ø8 mm (5/16")

チューブ公差

ナイロンチューブ：±0.1 mm 以内、ウレタンチューブ：±0.15 mm 以内

最大処理流量

100 L/min (std)^*1

フィルタ膜面積

110 cm²

ろ過精度

0.01 µm

最大使用圧力

0.8 MPa

耐環境性

使用周囲温度

0 ～ +50 ℃

材質

ケース：ポリカーボネイト、継手部：PBT + ステンレス、中空糸膜フィルタ：ポリプロピレン、ポッティング剤：ポリウレタン、O リング：NBR

質量

約 15 g

価格(¥)

11,000