【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

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 高温液体 
 冷却水 
 冷却水 
金型温調機の流量管理
ダイカスト金型の流量管理
焼入れ装置のコイル冷却水流量管理
金型温調機から送られる高温水の流量管理を行ないます。FD-V70シリーズは流体温度100℃まで対応できるため、樹脂成形型の保温水など、高温水の検出も可能です。 ダイカスト金型へ供給される冷却水の細管の流量管理を行ないます。複数台使用時も、小型センサヘッドで狭いピッチの配管に対応できます。 コイルの保護のために、不純物を取り除いた純水に近い液体を冷却水として使用します。アンプ分離型のため、表示は見やすい場所に設置でき、省スペース化も図れます。
 精製水 
 純水・薬液 
 純水・薬液 
ビンの洗浄水供給管理
ウエハ洗浄液の供給管理
基板洗浄機の供給管理
ビンの洗浄で使用される精製水の流量管理を行ないます。"渦+超音波のハイブリッド検出方式"により、純水に近い水でも、安定して検出できます。 効果的な薬液による洗浄と、リンスに使用する純水の流量管理を行ないます。フッ素樹脂のPFAヘッドにより、各種薬液や純水の検出が可能です。 枚葉洗浄装置で使用される洗浄液の流量管理を行ないます。フッ素樹脂のPFAヘッドにより、各種薬液や純水の検出が可能です。
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