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"設置場所を選ばない"
小型センサヘッド FD-P/F
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| 瞬時流量にあわせたスクロールスピードで“流れ”の状態を表示 |
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渇水などによる検出エラー状態を表示 |
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省スペース20mm幅
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センサヘッドは業界最薄の20mm幅※を実現。本体ケース幅を配管径サイズに極限まで近づけたコンパクト設計により、配管部の省スペース化が図れます。狭いピッチの配管に並べて取付けられるなど、装置の小型化に貢献します。
※FD-F04/F20（PFAヘッド） |
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“渦＋超音波”のハイブリッド検出方式
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| 検出方式は、“渦＋超音波方式”を採用。振動の影響を受けやすい“圧電素子”ではなく“超音波”で渦を検出するため、安定した高精度な流量検出が可能です。また、通水部は継ぎ目のない一体構造でメンテナンスも容易です。 |
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液体の流れにより、渦発生体から発生した渦を超音波で検出します。 |
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豊富なヘッドバリエーション
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| 汎用タイプの『PPSヘッド』と、酸・アルカリ・超純水などの検出が可能な『PFA（フッ素樹脂）ヘッド』の2種類で、流量に合わせて選べる5バリエーションのヘッドを用意しました。 |
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| 型式 |
種類 |
検出範囲 |
| FD-P05 |
PPS |
0.5～5L/min |
| FD-P20 |
2～20L/min |
| FD-P50 |
5～50L/min |
| FD-P100 |
10～100L/min |
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| 型式 |
種類 |
検出範囲 |
| FD-F04 |
PFA |
0.4～4L/min |
| FD-F20 |
2～20L/min |
| FD-F50 |
5～50L/min |
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汎用タイプ
『型式：FD-P＊＊』
（※PPS＝ポリフェニレンサルファイド） |
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接液部にフッ素樹脂を採用。半導体純水ラインをはじめ、各種薬液などの流量管理に最適なタイプ。『型式：FD-F＊＊』 |
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流体温度100℃
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| 流体温度100℃まで対応できるため、樹脂成形型の保温水など、高温水の検出も可能です。 |
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便利な中継コネクタ仕様（PPSヘッドのみ） |
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配管の際にヘッド本体を回転させてねじ込む場合や、メンテナンス交換時に便利です。
※ヘッドケーブルの延長が可能な、10mケーブル（OP-51475：別売）も用意しています。
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クリーンパック
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| センサヘッドは、クリーンパック（真空パック）出荷対応品です。半導体プロセスラインにおける、流量管理にも安心して使用することができます。 |
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