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ラック内のウエハ姿勢チェック
「ラック内のウエハ姿勢チェック」の画像
用途概要
搬送ラックに挿入されたウエハの挿入ミスを、画像センサを用いて検出します。
 
従来方法と導入のメリット  
光電スイッチをスキャンして検出していましたが、誤動作によりウエハの破損が発生していました。
画像センサの導入により誤動作がなくなり、復旧に多大なコストのかかるウエハ破損トラブルを防止できました。
検出のポイント  
ウエハの左右にウィンドウを設置し、エッジ検出モードにてピッチの変化を検出します。
この商品で実現できます
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画像センサ
CV-5000シリーズ
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BGAのボール抜け検査
「BGAのボール抜け検査」の画像
用途概要
半田ボールの抜けや欠けを画像センサにて検出します。
 
従来方法と導入のメリット  
一部のボールをファイバセンサにて検出していましたが、誤検出が多く不良が流出していました。画像センサの導入により確実な検査が可能となり不良流出がなくなりました。
検出のポイント  
ブロブモードにてボールの数をカウントし、抜けがないかを判別します。また、ボール毎の面積を測定することで、ボールに欠けがないかの検出も可能です。
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