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欠陥の最小検出サイズの考え方
「最小どれくらいの異物や黒点が検査できるの?」という質問がよくあります。 以下に、画像センサにおける最小検出サイズの考え方の一例をご紹介します。
最小検出サイズは、以下の要素から概算値を算出できます。
A=
カメラのCCDサイズ(Y方向)(画素)
B=
撮像視野(Y方向)(mm)
C=
CCD 上の最小検出画素サイズ(画素)
最小検出サイズ= B × C ÷ A
黒点部拡大
樹脂ワーク上の黒点
[考え方]
ここで、例えば、視野60mmで、縦の画素数が1200万画素のメガピクセルカメラを使った場合で考えてみます。
最小検出画素数は、最も理想的な2画素角とします。 この場合の最小検出サイズは、上式にA=1200画素、B=60mm 、C=2画素を代入すると
最小検出サイズ=60×2÷1200=0.1mm
となります。
下表は、カメラの種類と視野サイズの違いによる最小検出サイズの例を一覧にしたものです。画像センサの最小検出画素サイズを理想値の2画素とします。
カメラ
CCD画素数(Y方向)
視野(mm)
10
30
50
100
200
500
24万画素
480画素
0.04
0.13
0.21
0.42
0.83
2.08
200万画素
1200画素
0.02
0.05
0.08
0.17
0.33
0.83
最小検出画素サイズを4画素で考えた場合は、上表の2倍になります。
上表の値は、理論値です。検出条件などによって変わります。
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