【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

画像センサ/画像処理装置


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半導体業界のトレンド

原材料が高騰する中、徹底的なムダの排除とスループットの向上が急務となっています。
製品の廃棄や生産工程のストップなどにつながる各種製品不良をどれだけ早く見つけて、次工程に流さないか。
キーエンスでは幅広い画像処理ラインナップでこの課題を解決に導きます。

事例 1

ガラス基板のアライメント

ガラス基板のアライメント
検出のポイント

ガラス基板の四隅のアライメントマークを幾何サーチ(ShapeTrax2)により、高精度に位置検出します。

導入のポイント

検出能力が高い幾何サーチ機能により、アライメントマークのコントラストの違いにもサーチミスすることなく、安定した位置検出が可能です。

おすすめ機種

超高速・高容量マルチカメラ画像処理システムXG-8000シリーズ

位置正常
位置異常

事例 2

ガラス基板の割れ、欠け検査

ガラスの基板の割れ、欠け検査
検出のポイント

ガラス基板のエッジ部分に発生する割れや欠けをトレンドエッジ欠陥モードで検出します。

導入のポイント

トレンドエッジ欠陥モードにより、ガラス基板の縁上に発生する微小な欠陥を高速かつ確実に検出します。

おすすめ機種

超高速・高容量マルチカメラ画像処理システムXG-8000シリーズ

位置正常
位置異常

事例 3

タブレットの外観検査

ガラスの基板の割れ、欠け検査
検出のポイント

加工後のネジ穴のずれや寸法検査を2100万画素を使って行います。

導入のポイント

精度の観点から複数台で検査していた内容を、1台で行うことでコスト面でもメリットが出ます。

おすすめ機種

超高速・高容量マルチカメラ画像処理システムXG-8000シリーズ

ネジ加工ずれ検査OK
ネジ加工ずれ検査NG

事例 4

ICの2Dコードの読み取り検査

2Dコードの読み取り検査
検出のポイント

IC上の2次元コードの読み取りを行います。

導入のポイント

2次元コードの読み取りに加え、寸法検査や外観検査も同時に行うことができます。

おすすめ機種

超高速・高容量マルチカメラ画像処理システムXG-8000シリーズ

OK品
NG品

事例 5

液晶基板の厚み測定

液晶基板の厚み測定
検出のポイント

液晶基板の厚みをレーザ変位計で測定します。

導入のポイント

レーザの発光時間と発光パワーを自動で制御する機能を搭載。パターン面でも値飛びせず、安定測定ができます。

おすすめ機種

超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズ


事例 6

ウエハの厚み測定

ウエハの厚み測定
検出のポイント

バックグラインド装置内でウエハの厚みを測定します。

導入のポイント

BGテープが付いた状態でもウエハのみの厚みが正確に測定できます。

おすすめ機種

分光干渉式ウエハ厚み計 SI-F80Rシリーズ



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