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高精度形状測定システム KS-1100シリーズ

高精度形状測定システム

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KS-1100

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仕様

型式 KS-1100
X/Y ステージ 移動量 100mm(X/Y)
ステージ面サイズ 180mm×180mm
制御 フルクローズドループ
ガイド方式 クロスローラ
駆動方式 リニアモータ
最大駆動速度 150mm/sec
最小移動分解能 0.1μm
繰り返し位置決め 精度 ±0.5μm
位置決め精度 4μm※1
ロストモーション 1μm
真直度(垂直/水平) 2μm/2μm※2
θステージ 移動範囲 360°
Zステージ 可動範囲 100mm
耐荷重 1.5kgf(14.7N)
スケール分解能 1μm
アナログ 入力 チャンネル数 最大2ch
方式 シングルエンド方式
測定確度 0.1% of F.S.
定格電圧 ±10V
RS232Cインターフェース 測定データ取得(ボーレート 115200bps)
制御入力 リモート端子 無電圧接点入力
USB インターフェース USB Revision 2.0 フルスピード(USB1.1互換)準拠
データ容量 10Mデータ(40Mbyte)
定格 電源電圧 AC100~120±10% 50/60Hz
最大消費電力 200VA
耐環境性 使用周囲温度 +5~+40℃
使用周囲湿度 35~85%RH(結露なきこと)
質量 約20kg
※1 移動量10mmの範囲においての値。
※2 移動量30mmの範囲においての値。

型式 KS-1100
対応OS Windows XP Professional
Windows XP Home Edition
上記OSの日本語版がプリインストールされているモデルであること。
CPU CPU Pentium4(または同等以上の性能を持つCPU )1.7GHz以上
メモリ 1GB搭載していること。(2GB以上を推奨)
ビデオカード VRAM 128MB以上
ディスプレイ解像度 1280×1024(SXGA)以上 表示色True Color(32bit)
ハードディスク容量 インストール時、HDD空き容量70MB以上(測定データ含まず)
実行時、HDD空き容量が500MB以上

この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。
日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。

外形寸法図

単位:mm

外形寸法図_MD_ks_1100
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