
仕様
| 型式 | KS-1100 | |
|---|---|---|
| X/Y ステージ | 移動量 | 100mm(X/Y) |
| ステージ面サイズ | 180mm×180mm | |
| 制御 | フルクローズドループ | |
| ガイド方式 | クロスローラ | |
| 駆動方式 | リニアモータ | |
| 最大駆動速度 | 150mm/sec | |
| 最小移動分解能 | 0.1μm | |
| 繰り返し位置決め 精度 | ±0.5μm | |
| 位置決め精度 | 4μm※1 | |
| ロストモーション | 1μm | |
| 真直度(垂直/水平) | 2μm/2μm※2 | |
| θステージ | 移動範囲 | 360° |
| Zステージ | 可動範囲 | 100mm |
| 耐荷重 | 1.5kgf(14.7N) | |
| スケール分解能 | 1μm | |
| アナログ 入力 | チャンネル数 | 最大2ch |
| 方式 | シングルエンド方式 | |
| 測定確度 | 0.1% of F.S. | |
| 定格電圧 | ±10V | |
| RS232Cインターフェース | 測定データ取得(ボーレート 115200bps) | |
| 制御入力 | リモート端子 | 無電圧接点入力 |
| USB インターフェース | USB Revision 2.0 フルスピード(USB1.1互換)準拠 | |
| データ容量 | 10Mデータ(40Mbyte) | |
| 定格 | 電源電圧 | AC100~120±10% 50/60Hz |
| 最大消費電力 | 200VA | |
| 耐環境性 | 使用周囲温度 | +5~+40℃ |
| 使用周囲湿度 | 35~85%RH(結露なきこと) | |
| 質量 | 約20kg | |
| 移動量10mmの範囲においての値。 | |
| 移動量30mmの範囲においての値。 |
| 型式 | KS-1100 | |
|---|---|---|
| 対応OS | Windows XP Professional | |
| Windows XP Home Edition | ||
| 上記OSの日本語版がプリインストールされているモデルであること。 | ||
| CPU | CPU Pentium4(または同等以上の性能を持つCPU )1.7GHz以上 | |
| メモリ | 1GB搭載していること。(2GB以上を推奨) | |
| ビデオカード | VRAM 128MB以上 | |
| ディスプレイ解像度 | 1280×1024(SXGA)以上 表示色True Color(32bit) | |
| ハードディスク容量 | インストール時、HDD空き容量70MB以上(測定データ含まず) 実行時、HDD空き容量が500MB以上 |
|
| この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。 日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。 |
外形寸法図
単位:mm
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