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高精度形状測定システム KS-1100シリーズ

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仕様

※移動量100mm以上を希望される場合は別途ご相談ください。

型式 KS-1100
X/Y
ステージ
移動量 100mm(X/Y)
ステージ面サイズ 180mm×180mm
制御 フルクローズドループ
ガイド方式 クロスローラ
駆動方式 リニアモータ
最大駆動速度 150mm/sec
最小移動分解能 0.1μm
繰り返し位置決め
精度
±0.5μm
位置決め精度 4μm※1
ロストモーション 1μm
真直度
(垂直/水平)
2μm/2μm※2
θステージ 移動範囲 360°
Zステージ 可動範囲 100mm
耐荷重 1.5kgf(14.7N)
スケール分解能 1μm
アナログ
入力
チャンネル数 最大2ch
方式 シングルエンド方式
測定確度 0.1% of F.S.
定格電圧 ±10V
RS-232Cインターフェース 測定データ取得(ボーレート 115200bps)
制御入力 リモート端子 無電圧接点入力
USB インターフェース USB Revision 2.0 フルスピード(USB1.1互換)準拠
データ容量 10Mデータ(40Mbyte)
定格 電源電圧 AC100~120±10% 50/60Hz
最大消費電力 200VA
耐環境性 使用周囲温度 +5~+40℃
使用周囲湿度 35~85%RH(結露なきこと)
質量 約20kg
※1 移動量10mmの範囲においての値。
※2 移動量30mmの範囲においての値。
本製品は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出の許可が必要な貨物に該当しますので、日本国外に持ち出す際には、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続をお取りください。
システム仕様
型式 KS-1100
対応OS Windows XP Professional
Windows XP Home Edition
上記OSの日本語版がプリインストールされている
モデルであること。
CPU CPU Pentium4(または同等以上の性能を持つCPU )
1.7GHz以上
メモリ 1GB搭載していること。(2GB以上を推奨)
ビデオカード VRAM 128MB以上
ディスプレイ解像度 1280×1024(SXGA)以上
表示色True Color(32bit)
ハードディスク容量 インストール時、HDD空き容量70MB以上
(測定データ含まず)
実行時、HDD空き容量が500MB以上

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