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測定ヘッド ワイド視野タイプ

測定ヘッド ワイド視野タイプ IM-6125

仕様

型式 コントローラ IM-6700
ヘッド IM-6125
撮像素子 1型 660万画素 CMOS
ディスプレイ 10.4型 LCDモニタ(XGA:1024×768) 外部モニタ接続可能(クローン出力)
受光レンズ ダブルテレセントリックレンズ
視野 広視野測定モード φ100×L200mm
高精度測定モード □25×L125mm
最小表示単位 0.1μm
くり返し精度 広視野測定モード ±1μm(ステージ移動なし),±2μm(ステージ移動あり)
高精度測定モード ±0.5μm(ステージ移動なし),±1.5μm(ステージ移動あり)
測定精度(±2σ) 広視野測定モード ±5μm※1(連結なし ),±(7+0.02L)μm※2(連結測定)
高精度測定モード ±2μm※3(連結なし),±(4+0.02L)μm※4(連結測定)
外部リモート入力 無電圧入力(有接点/無接点)
外部出力 判定出力(OK/NG/FAIL) リレー出力/定格負荷 DC24V 0.5A/ON抵抗 50mΩ以下
インターフェース LAN RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
USB2.0シリーズA 6系統(前面2系統/背面4系統)
記録 ハードディスクドライブ 250GB
耐環境性 使用周囲温度 +10℃~35℃
使用周囲湿度 20%~80%RH(結露なきこと)
照明系 透過 テレセントリック透過照明(緑色LED)
リング 4分割(白色LED)
外部 外部接続照明
Z軸ステージ Z軸移動範囲 30mm(電動)
X軸ステージ X軸移動範囲 100mm(電動)
耐荷重 2kg
電源 電源電圧 AC100~240V 50/60Hz
消費電力 310VA以下
質量 コントローラ部 約8kg
測定部 約28kg
※1 ステージ中心からφ80mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23±1℃のとき 
※2 ステージ中心からΦ80×180㎜の範囲、合焦点位置にて使用温度+23±1℃、ステージ積載重量1kg以下のとき Lはステージ移動量(㎜) 
※3 φ20mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23℃±1℃のとき 
※4 ステージ中心からΦ20×120㎜の範囲、合焦点位置にて使用温度範囲+23±1℃、ステージ積載重量1kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)

外形寸法図

単位:mm



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