画像寸法測定器 IM-6000 シリーズ

測定ヘッド ワイド視野タイプ IM-6125

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IM-6125 - 測定ヘッド ワイド視野タイプ

仕様

型式

IM-6125

種類

ヘッド

撮像素子

1型 660万画素 CMOS

ディスプレイ

10.4型 LCDモニタ(XGA:1024×768) 外部モニタ接続可能(クローン出力)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野:ø100×200mm、高精度:□25×125mm

最小表示単位

0.1µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野:±1µm、高精度:±0.5µm

ステージ移動あり

広視野:±2µm、高精度:±1.5µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野:± 5µm*1、高精度:± 2µm*2

連結あり

広視野:±(7+0.02L)µm*3、高精度:±(4+0.02L)µm*4

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

リレー出力/定格負荷 DC24V 0.5A/ON抵抗 50mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB2.0シリーズA

6系統(前面2系統/背面4系統)

記録

ハードディスクドライブ

250GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明(緑色LED)

リング

4分割(白色LED)

外部

外部接続照明

Xステージ

移動範囲

100mm(電動)

耐荷重

2kg

Zステージ

移動範囲

30mm(電動)

電源

電源電圧

AC100~240V 50/60Hz

消費電力

310VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+10 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 80 % RH (結露しないこと)

質量

約28kg

*1 ステージ中心からø80mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23±1.0℃のとき
*2 ø20mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23℃±1℃のとき
*3 ステージ中心からø80×180mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23±1.0℃、ステージ積載重量1kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*4 ステージ中心からø20×120mmの範囲、合焦点位置にて使用温度範囲+23±1.0℃、ステージ積載重量1kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)