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測定ヘッド 可変照明・高さユニットタイプ

測定ヘッド 可変照明・高さユニットタイプ IM-6225T

仕様

型式 IM-6225T
撮像素子 1型 660万画素 モノクロCMOS
ディスプレイ 10.4型 LCDモニタ (XGA: 1024×768)
外部モニタ接続可能 (クロ-ン出力)
受光レンズ ダブルテレセントリックレンズ
画像測定 視野 広視野: Φ100×L200mm 高精度: □25×L125mm
最小表示単位 0.1 μm
繰り返し精度 ステ-ジ移動なし 広視野: ±1μm 高精度: ±0.5μm
ステ-ジ移動あり 広視野: ±2μm 高精度: ±1.5μm
測定精度 (±2σ) 連結なし 広視野: ±5μm ※1 高精度: ±2μm ※2
連結あり 広視野: ± (7 +0.02L)μm ※3 高精度: ± (4 +0.02L)μm ※4
高さ測定 測定範囲 0~60mm ※5
測定力 0.3N ※5
測定位置精度XY ±0.7mm ※5
最小表示単位 1μm ※5
測定可能領域XY 標準プロ-ブ 広視野: 45×95mm ※5
高精度: 7.5×25mm
広範囲プロ-ブ 広視野: 95×95mm ※5
高精度: 60×25mm
繰り返し精度 標準プロ-ブ ±2μm ※5 ※6
広範囲プロ-ブ ±5μm ※5 ※6
測定精度 標準プロ-ブ ±7.5μm ※5 ※7
広範囲プロ-ブ ±15μm ※5 ※7
外部リモ-ト入力 無電圧入力 (有接点 / 無接点)
外部出力 OK / NG / FAIL リレ-出力 / 定格負荷 DC24V 0.5A / ON抵抗
LAN RJ-45 (10BASE-T / 100BASE-TX / 1000BASE-T)
USB2.0シリ-ズA 6系統 (前面2系統 / 背面4系統)
記録 ハ-ドディスクドライブ 250 GB
照明系 透過 テレセントリック透過照明 (緑色LED)
落射 4分割マルチアングル照明 (電動・白色LED)
スリットリング (指向性)照明 (電動・緑色LED)
外部 外部接続照明 (同軸)
Xステ-ジ 移動範囲 100 mm (電動)
Zステ-ジ 移動範囲 30 mm (電動)
耐荷重 2 kg
定格 電源電圧 AC100 ~ 240V 50 / 60Hz
消費電力 310VA以下
耐環境性 使用周囲温度 +10 ~ 35℃
使用周囲湿度 20 ~ 80%RH (結露なきこと)
質量 コントロ-ラ部 約8kg
測定部 約34kg
※1 ステ-ジ中央からφ80mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23℃±1℃のとき
※2 ステ-ジ中央からφ20mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23℃±1℃のとき
※3 ステ-ジ中央からφ80×180mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23℃±1℃、ステ-ジ積載重量は1kg以下のとき Lはステ-ジ移動量 (mm)
※4 ステ-ジ中央からφ20×120mmの範囲、合焦点位置にて使用温度+23℃±1℃、ステ-ジ積載重量は1kg以下のとき Lはステ-ジ移動量 (mm)
※5 接触式高さ測定ユニット付ヘッド(IM-6225T)のみ
※6 測定最大高さ設定30mm以下のとき、測定最大高さ設定30mmを越え60mmまでは、標準プロ-ブ±5μm(typ)、広範囲プロ-ブ±8μm(typ)
※7 測定最大高さ設定30mm以下のとき、測定最大高さ設定30mmを越え60mmまでは、標準プロ-ブ±18μm(typ)、広範囲プロ-ブ±25μm(typ)

外形寸法図

単位:mm

外形寸法図_IM-6225T

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