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ワンタッチで角度・傾き、平行度を測定 |
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オートコリメート原理 |
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高分解能5秒 |
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測定スポット任意可変（φ2～9mm） |
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角度（傾き）、振れ測定可能 |
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対象物の表面にワンポイントレーザを当てるだけで
「傾き・平行度・反り・うねり」を測定
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測定範囲全領域(±1.5°)において、分解能5秒、
リニアリティー±0.5％ of F.S.を実現
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| 新設計の超低収差レンズの採用、2次元リニア補正技術の応用により、広範囲・高精度測定を実現しました。 |
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対象物の表面状態に左右されないレーザ自動調光機能
（PALS機能）を搭載
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| 新開発 PALS（Photo Active Lasercontrol System）機能により対象物の表面状態が変化しても自動的に最適光量に調整できます。（特許出願中） |
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「電動光学絞り機能」により、測定スポットサイズを変更可能
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| 測定ヘッド部に内蔵した「電動光学絞り機能」により、対象物の大きさに対して最適なサイズの測定スポットに調整できます。余計な外乱光の影響をカットでき、より正確な測定結果が得られます。
（特許出願中） |
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| レーザ発光素子から照射したレーザ光は、コリメータレンズで平行レーザ光に変えられます。この平行レーザ光は対象物に反射し、反射レーザ光として受光レンズで集光され、そのレンズの焦点距離上にあるCCD素子に結像します。この時の結像位置は、照射レーザ光と対象物の構成角によって変化するため、対象物の傾きが変化するとCCD上の結像位置も変化します。この変化量を角度換算することにより測定値を求めます。 |
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