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超高速サンプリングと高精度測定を実現 |
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超高分解能0.01μm |
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最小スポットφ12μm |
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高速測定50,000回/秒 |
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50,000回/秒の高速測定
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| 高度なデジタル/アナログ技術を結集した超高速演算処理回路を搭載。高速で回転するモータシャフトの偏心測定なども確実に応答します。その上、分解能は0.01μmを実現。±0.05% of F.S.の高い直線性と相まって究極の高精度測定が可能になりました。 |
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最小スポット径12μm&可視光レーザ
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| スポットが見える可視光レーザで最小スポット径φ12μmを実現。微小部品の測定もスポットを見ながら容易に位置決めがOK。さらに、表面形状、粗さの測定も可能になりました。 |
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プログラム設定機能
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| 最大5通りの設定をプログラムに保存できます。複数種類のワークを測定する場合も、それぞれのワークに応じた交差設定、キャリブレーション値などをプログラムに保存しておけば読み出すだけで設定が完了します。 |
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無駄のないユニット化設計
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| コントロールユニットとディスプレイユニットに分離可能なユニット化設計。コントロールユニットだけを機器に組み込んで使用することができます。 |
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