| タイプ |
モデル |
測定範囲 |
繰り返し精度 |
スポット径 |

投・受光分離タイプ |
小スポット |
LK-G08 |
|
0.01μm |
20μm |
| 小型・超高精度 |
小スポット |
LK-G10 |
|
0.01μm |
20μm |
| ワイドスポット |
LK-G15 |
20×500μm |
| 高精度 |
小スポット |
LK-G30 |
|
0.05μm |
30μm |
| ワイドスポット |
LK-G35 |
30×850μm |
| 汎用 |
小スポット |
LK-G80 |
|
0.2μm |
70μm |
| ワイドスポット |
LK-G85 |
70×1100μm |
| ロングレンジ |
小スポット |
LK-G150 |
|
0.5μm |
120μm |
| ワイドスポット |
LK-G155 |
120×1700μm |

高速ロングレンジ |
小スポット |
LK-G400 |
|
2μm |
290μm |
| ワイドスポット |
LK-G405 |
290×8300μm |

超ロングレンジ |
小スポット |
LK-G500 |
|
2μm |
300μm |
| ワイドスポット |
LK-G505 |
300×9500μm |
|