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新開発Li-CCD・高精度エルノスターレンズをはじめとした
圧倒的な先進テクノロジーを搭載 |
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定評のLKシリーズの持つCCDセンサテクノロジーにさらに磨きをかけ、
“Li-CCD”“高精度エルノスターレンズ”といった新たな技術を開発─。
世界最高、業界最高を誇る、圧倒的なハイスペックを実現しました。 |
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高性能CPU搭載。
対象物をセンシングすることで、
レーザとCCDを
リアルタイムに最適制御。 |
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測定安定度の高い
“ワイドスポットタイプ”と
微小ワークや形状測定に適した
“小スポットタイプ“の2種類を用意。 |
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精度、速度、感度の
全てにおいて高次元の
実力を発揮します。 |
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センサヘッドと一体化された
高精度エルノスターレンズが
高精度・高安定測定を
実現します。 |
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Li-CCD※
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画素境界部の誤差を解消し、従来比2倍の
高精度を実現
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画素毎のデジタル出力特性を持つCCDは、画素の境界部で発生する段階的な出力による誤差が高精度化の壁となっていました。そこで、反射光の画素内位置を出力することができるLi-CCDを新開発。従来比2倍の高精度化を実現しました。さらに、センサ専用設計を行うことで従来比25倍の高速化と10倍の高感度化を達成しました。
※Li-CCD = Linearized CCD |
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一体成型ダイキャストボディ
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筐体のひずみを抑える
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| サブミクロン以下の高精度領域においては筐体の僅かなひずみも大きな誤差要因となります。そこで、光学システムを全て一体化した高剛性・専用ダイキャストボディを採用しました。 |
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高精度レンズユニット
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収差による誤差を低減
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| 反射光をLi-CCD上に集光するための受光レンズユニットを新設計しました。新開発、高精度エルノスターレンズにより、収差によるスポットの歪みを徹底的に低減。さらに、センサヘッドと一体化された専用ダイキャストハウジングを採用し、高い剛性を実現しました。 |
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カメラ用の高級レンズとして定評のある４枚のレンズを組み合わせた光学方式で、収差が非常に小さいことが特徴。結像性能がよく、あらゆる角度から入光した光を１点で集光することができます。 |
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超高速サンプリング 50kHz
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| 高速Li-CCDにより従来比25倍の高速サンプリングを実現。Li-CCDからの高速な信号を波形処理専用DSPにより高速デジタル処理を行うことで、高速性と高精度測定を両立しました。高速に移動・回転・振動するワークを確実に測定可能です。 |
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高速回転中のHDDの
面振れ測定 |
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グリーンシートの
厚み測定 |
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高精度 ±0.02％
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| 高精度測定を実現するために光学系を一から見直し、高精度エルノスターレンズと高い直線性特性を持つLi-CCDを新開発。対象物からの反射光を高精度に集光・検出することで従来比2倍の高精度を実現。製品の微細化に伴う高精度ニーズに幅広く対応します。 |
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シリコンウェハの
厚み測定 |
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スパッタリングターゲット
の磨耗測定 |
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高繰り返し精度 0.01μm
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| センサヘッド内部にCPUを内蔵し、コントローラへの信号を全てデジタル化することで外乱ノイズの影響を大幅に低減。さらに、高剛性一体型ダイキャストボディによる温度誤差の低減や、従来比10倍感度のLi-CCD採用による信号ノイズの低減など、徹底した高精度設計を行い、従来比20倍の高繰り返し精度を実現しました。 |
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高精度加工ステージの
位置制御 |
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ロボットの停止精度測定 |
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現場指向の設計コンセプト
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耐屈曲ケーブル採用
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IP67をクリア
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| 耐屈曲ケーブルを標準採用。ロボットなどの可動部へ安心して取付が可能です。 |
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高い防水性能により、加工現場など飛沫がかかりやすい場所でも安心して使用できます。
※レンズ前面に水や油が付着すると、光の屈折により測定が不安定になる場合があります。 |
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ヘッド互換性・混在可能
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NDフィルタ
（LK-F1 オプション）
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ヘッド内部に補正データを内蔵することで互換性を確保。異なるタイプのセンサも同一のコントローラで使用できます。 |
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測定対象物が光沢の強い鏡面やガラス面のときに、最適なレーザ光量に減衰し、より高精度な測定を可能にします。 |
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