【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

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2WAY光学系

対象物・用途に合わせて選べる
ワイド&スポット2WAY光学系を用意

レーザスポット径は、新設計シリンドリカルレンズを搭載したワイドレーザとシャープな小スポットの2タイプを用意。さまざまな対象物・用途に最適な性能を発揮します。
AP-50シリーズ / 耐環境小型圧力センサ

Wide spot type

測定安定度の高い
ワイドスポットタイプ
位置 厚み 長さ 振動
AP-50シリーズ / 耐環境小型圧力センサ 粗面ワークの微細な表面凹凸による乱反射を平均化し、データのばらつきを防ぎます。
LK-G15 LK-G35 LK-G85 LK-G155 LK-G405 LK-G505
A 20μm 30μm 70μm 120μm 290μm 300μm
B 500μm 850μm 1100μm 1700μm 8300μm 9500μm

Small spot type

微小ワークや形状測定に適した
小スポットタイプ
形状 段差 反り 微小
AP-50シリーズ / 耐環境小型圧力センサ 最小30μmの極小スポットにより、微小ワークを確実に検出します。形状測定に最適です。
LK-G10 LK-G30 LK-G80 LK-G150 LK-G400 LK-G500
A φ20μm φ30μm φ70μm φ120μm φ290μm φ300μm

ワイドスポットが、「表面粗さ」吸収して超安定厚み測定を実現

「表面粗さ」とは?

一見、平面に見えるワークの表面も、拡大観察すると表面の凸凹が
想像以上に大きいことが分かります。これが「表面粗さ」です。
従来のレーザ変位計のスポットはわずか数10μmしかなく、表面粗さ
によって反射光が散乱する場合があります。
〈下記画像は当社マイクロスコープによる拡大映像〉
ベアリング外輪(×300)
セラミック板(×1500)
セラミック断面とレーザスポットの比較
従来のスポット径の場合、表面粗さの凸凹より小さく、反射光が散乱し、安定した測定が難しくなります。

挟み込み測定対応、2ヘッド接続

コントローラは2ヘッド接続に対応。挟み込み測定をデジタル演算で高精度に実現します。
センサがそれぞれ独立してワークまでの距離を測定。測定値の和を取り付けピッチから引くことで厚みを求めます。

レーザとCCD両方のワイド化

投光レーザスポットのワイド化
特殊形状レンズ(=シリンドリカルレンズ※)を使用し、横幅のみが
広いライン状のレーザスポットにします。レンズは、レーザ変位計の
特性に合わせ、低収差・高精度が要求されます。
※[cylindrical=円筒状の]の名の通り、特殊な形状をしたレンズ。
透過光の一方は焦点を結び、もう一方はそのまま透過させる特性
を持ちます。
CCD受光素子のワイド化
散乱光による受光位置のばらつきを吸収するために、ワイド化した
レーザスポットを、そのまま受光する事が必要です。一般的なライン
CCDの50倍程度の受光幅になります。

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