超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズ

透明・鏡面測定タイプ

透明・鏡面測定ヘッド…透明・鏡面測定に効果を発揮

正反射に設置して最適光量で測定できる専用ヘッド。ワイド、スポットと２つのレーザタイプもあり、ガラス、鏡面など特に高精度な測定が求められる用途に最適です。

超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズ

LK-H008W	LK-H027K	LK-H057K	LK-H085+LK–F3	LK-H155+LK–F2
20×550μm	25×1400μm	50×2000μm	70×2500μm	120×4200μm

LK-H008	LK-H022K	LK-H052K	LK-H082+LK‒F3	LK-H152+LK‒F2
φ20μm	φ25μm	φ50μm	φ70μm	φ120μm

正反射光に対して受光素子上での解像度が最小になるように光学系を最適設計しました。
さらに受光素子を高精細化したことで、20μmの隙間まで安定測定できます。

超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズ

パターンウェハのZ軸位置決め

超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズ

HDDランプとメディアの段差測定

超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズ

ガラス基板の厚み・反り・
平行度測定

超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズ

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