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世界初、ダブルスキャン方式により
材質、色、傾きに影響を受けない測定器誕生 |
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多彩な測定モード |
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基板上のクリームはんだの 形状測定 |
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光ディスクの厚み測定 |
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CCDとカバーガラスの 平行度測定 |
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0.01μmの高分解能であらゆる対象物を測定
用途と安定性を追求するワイドスキャン方式
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微小ワークから粗面ワークまで、高精度に測定
光量積算機能
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形状測定・透明体測定・角度測定・断面積測定
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マイクロスコープ機能・波形モニタ・簡単メニュー・マルチI/O
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測定部コントローラ互換・校正機能・豊富な計測モード・2ch同時測定
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