【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

φ2umのスポット径による”正確な形状測定”共焦点方式による”薄膜の厚み測定” 材質、色、傾きの影響を受けない超高精度レーザ変位計 今すぐカタログを見る

4つの特長

1. φ2μmの極小スポットを実現

共焦点方式による同軸光学系を採用。
対象物上で焦点の合った位置を測定する原理のため、「焦点の合った位置=最小スポット位置」となります。
全測定範囲でφ2μmの極小スポットを実現。微細ワークを正確に測定できます。
また測定部に小型CCDカメラを内蔵したことで、極小スポットを簡単に測定ポイントに合わせることができます。

ワイヤの高さ測定

ワイヤの高さ測定

鮮明マイクロスコープ機能

鮮明マイクロスコープ機能

2. アプリケーションと安定性を追求するX軸スキャン

搖動ユニットによってφ2μmのスポットを最大1100μmまで水平移動できるため、形状・角度・面積が測定できます。
またアプリケーションの広がりだけでなく、スキャンデータの中で信頼性の高いデータを採用する光量積算機能を搭載し、安定測定を実現しました。

X軸スキャン

X軸スキャン

光量積算機能

光量積算機能

3. 抜群の角度特性

高精度非球面レンズを採用することにより高N.Aを実現。
測定対象物が傾いても反射光を受光することができるため、抜群の角度特性を発揮します。

4. 3次元測定・解析用途への展開

高精度X-YステージKS-1100と組み合わせることで、3次元形状測定・解析ができます。

3次元測定システムの詳細はこちら

3次元測定・解析用途への展開

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