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ダブルスキャン高精度レーザ測定器 LT-9000シリーズ

測定部

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LT-9031M

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仕様

型式 LT-9031M
測定範囲 ±1.0mm
基準距離 30mm
光源   赤色半導体レーザ
波長 670nm(可視光)
出力

最大170μW

クラス JISクラス1
スポット径 約φ7μm
スキャン幅/間隔 0~560μm(6段階)/1~8μm(4段階)
分解能※1 0.3μm
直線性※1 ±0.3% of F.S.
サンプリング周期 640μs~187ms(14段階)
温度特性(+20~+30℃) ±0.25% of F.S.
マイクロスコープ機能   あり
視野 2.5mm×2.0mm
照明光源 赤外LED(波長870nm)
耐環境性 使用周囲照度 白熱ランプ/蛍光灯:10000lx以下
使用周囲温度 0~+35℃
使用周囲湿度 35~85%RH(結露しないこと)
質量 センサヘッド 約500g
※1 測定対象が鏡面体で変位モード、スキャン幅/間隔120μm/2μm、8回平均に設定して測定した場合の値。

外形寸法図

単位:mm

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