 |
2つのレーザスキャンが高精度・高安定性を実現
レーザ測定器の完成形を追求しました
|
 |
音叉ユニットと揺動ユニットを組み合わせた高精度ダブルスキャン方式で、
材質、色、傾きに影響を受けない変位・形状測定器が誕生しました。 |
 |
 |
 |
ダブルスキャン
高精度レーザ測定器
LT-9500シリーズ |
|
|
 |
|
|
 |
0.01μmの高分解能であらゆる対象物を測定 |
 |
 |
 |
 |
 |
|
共焦点と音叉を利用した高精度測定方式
|
 |
| レーザ光は音叉により高速に上下する対物レンズを通り、対象物上で焦点を結びます。その時の反射光はピンホールの位置で一点に集光され受光素子に入光します。入光した瞬間の対物レンズの位置をセンサで測定する事で、対象物までの距離を材質・色・傾きに影響を受けず正確に測定します。 |
|
|
 |
|
 |
用途と安定性を追求するワイドスキャン方式 |
 |
 |
 |
 |
 |
|
揺動ユニットによる高精度スキャニング
|
 |
| 高精度揺動機構によって2μmのスポットを最大1100μm水平移動できます。このスキャン方式を採用する事で形状・角度・面積の測定が可能になりました。 |
 |
 |
 |
スキャン幅は目的に応じて自由に可変
|
 |
| 用途と対象物の表面状態に合わせてレーザのスキャン幅を可変できます。またスキャンデータを演算する事で安定性の高い変位測定を可能にしました。 |
 |
 |
|
|