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ダブルスキャン高精度レーザ測定器　LT-9000シリーズ

対象物を選ばず高精度に変位測定

微細ワーク

同軸方式の小スポットレーザにより、あらゆる微細ポイントを測定可能




ワイヤの高さ測定		プルトップの残厚測定

狭ピッチボンディングのワイヤの高さが確実に測定できます。		溝の深さや形状を安定して測定できます。

粗面ワーク

レーザスキャン方式がもたらす光量積算機能により、
高い安定性を実現

LT-9000シリーズ / ダブルスキャン高精度レーザー測定器

ウェハのそり測定

パターンがあるウェハのそりを安定測定できます。

　


表面の影響をうけ測定値が乱れています。	[光量積算OFFの場合] 表面パターンの影響をうけています。




測定値が安定し、そり形状が測定できました。	[光量積算ONの場合] パターンの影響を除去し、正確に測定できています。

光量積算機能

安定性を実現

(1)	揺動ユニットにより2μmのスポットをX軸方向に振ります。
(2)	X軸方向の各スポットのデータは変位位置データ(Z軸)と受光量データの2つのデータに分かれます。
(3)	表面が粗い面では受光量が高く安定したデータと受光量が低く不安定なデータが生じます。光量積算機能では、Z軸方向で光量を積算することで光量差をさらに大きくし、受光量が少ない不安定なデータの影響をほとんど受けることなく安定した変位位置を出力します。

LT-9000シリーズ / ダブルスキャン高精度レーザー測定器

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