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用途を広げる多彩な測定モード
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形状測定 |
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揺動ユニットにより光軸上の形状を正確にトレース |
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基盤上のクリームはんだの形状測定 |
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| 鉛フリーはんだの形状を測定しクラック、ブリッジ、はんだ不足などの異常を検査します。任意の点の段差測定が可能です。 |
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透明体測定
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共焦点原理により、透明体の表面・膜厚・厚みを
安定して測定
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光ディスクの厚み測定
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光ディスクの中間層の厚みを測定します。
傾き補正機能と複数面測定機能を使用することで確実な計測が可能になります。 |
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角度測定 |
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CCDとカバーガラスの平行度測定
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| 新開発の相対角度測定機能によりガラス裏面を基準としたCCD表面の傾きが0.01度単位で正確に測定できます。 |
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断面積測定 |
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液晶シール材の断面積測定
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| ガラス基板の貼り合せ用に塗布されたシール材の形状、断面積を測定します。断面積の直接測定が可能になりました。 |
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