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超高分解能&3種のヘッドバリエーション

超高分解能1nm(0.001μm)

干渉計の原理を応用し、極限まで高精度測定を追及した専用モードを用意しました。
ナノレベルの更なる高精度測定ニーズにお応えします。
世界初干渉計モード

平均回数1回、干渉計モード時代表例

平均回数1回、干渉計モード時代表例

発熱ゼロ、ノイズゼロ

ファイバヘッド構造のメリット
測定ヘッドを“ファイバ+レンズ”のみで構成し、電子部品を全て排除しました。

小型&軽量&耐熱
設置スペースを考える上での制約が大幅に減少します。従来では設置できなかった測定案件など、対応できる幅が広がります。

発熱ゼロ
ナノレベルの高精度測定において、熱発生源は誤差を発生させる要因のひとつになります。ファイバヘッド構造の採用により、ヘッド部“発熱ゼロ”を実現しました。

電機/磁気ノイズの影響ゼロ
測定ヘッド部分に電気回路がありません。それにより、要因を特定しにくく、対策の難しい周囲からの電気/磁気ノイズの影響を“ゼロ”にすることに成功しました。

3種のヘッドバリエーション

マイクロヘッドタイプ

超高精度、狭い場所、高温下での測定に最適

SI-F01

SI-F01

SI-F01

主な仕様

測定範囲 0.05~1.1mm
分解能 1nm
直線性 ±0.2μm
ヘッドサイズ φ2mm

長距離タイプ

高精度をそのままに、長距離測定を実現

SI-F10

SI-F10

SI-F10

主な仕様

測定範囲 11.3~12.35mm
分解能 10nm
直線性 ±0.3μm
ヘッドサイズ φ8mm

厚み測定タイプ

厚み測定にターゲットを絞り、高精度に測定

SI-F80

SI-F80

SI-F80

主な仕様

設置距離 80~81.1mm
測定厚み 0.05~1.1mm
分解能 1nm
直線性 ±0.2μm
ヘッドサイズ φ12mm

アプリケーション

ウエハ厚み測定

シリコンウエハなど高精度な対象物の厚み、そりなどを測定します。

ウエハ厚み測定

メリット

  • 超高精度
    分解能0.001μm
  • 多機能コントローラ
    演算回路が瞬時に厚みへ変換
  • 発熱しない
    測定誤差要因をなくしました

複写機内部のローラ挙動測定

複写機など精密機械内部で各部品の挙動状況を測定します。

複写機内部のローラ挙動測定

メリット

  • φ2mmのマイクロヘッド
    設置場所を選びません
  • 耐熱85℃
    発熱体近くでも測定可能
  • 5kHzの高速サンプリング
    速い挙動も確実に測定

高精度ステージの位置決め

ステージの停止位置を測定し基準からの誤差値を設備にF.Bします。

高精度ステージの位置決め

メリット

  • 設置距離10mm以上
    ぶつける心配がありません
  • 6軸まで同時測定
    時間誤差なく、多軸制御可能
  • φ8mmの小型ヘッド
    設定場所は選びません

高精度ローラの振れ測定

塗こうロールなどシビアに測定する必要があるローラの振れ量を測定します。

高精度ローラの振れ測定

メリット

  • ワークを傷つけない
    非接触なのでワークに傷が付きません
  • 振れ幅ダイレクト表示
    コントローラ内部で振れ幅を瞬時に演算・表示
  • 5kHzの高速サンプリング
    対象物の高速回転にも追従します

露光マスクのギャップ測定

露光マスクとガラス基板のすきま(ギャップ)量を測定します。

露光マスクのギャップ測定

メリット

  • 設置距離80mm以上
    マスクが分厚くなっても設置できます
  • φ12mmの小型ヘッド
    設置場所を選びません
  • 発熱しない
    測定誤差要因をなくしました

ガラスディスクの厚み測定

ガラスディスクなど、光を透過する対象物の厚みを測定します。

ガラスディスクの厚み測定

メリット

  • 超高精度
    分解能0.001μm
  • 5kHzの高速サンプリング
    対象物の高速回転にも追従します
  • 6箇所まで同時測定
    時間差なく、多点測定が可能です

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