マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計 SI-Fシリーズ

分光ユニット

SI-F10U

1つのセンサヘッドに1台必要です。

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仕様

種類			長距離タイプ
型式	分光ユニット		SI-F10U
型式	センサヘッド		SI-F10
測定範囲			11.3～12.35mm※1
測定用光源			赤外SLD　中心波長820nm　0.6mW　クラス１（JIS C6802）
スポット径※2			φ40μm
直線性			±0.3μm※3
分解能			0.01μm※4
サンプリング周期			200μs
ガイド用光源			赤色LD　 650nm　0.1mW　クラス１（JIS C6802）
LED表示			測定中心付近：緑点灯　測定範囲内：橙点灯　測定範囲外：橙点滅
温度特性	分光ユニット		0.01％ of F.S./℃
耐環境性	保護構造	センサヘッド	IP64
	使用周囲照度		白熱ランプ、蛍光灯：10000ｌｘ以下
	使用周囲温度	センサヘッド	0～＋40℃
	使用周囲温度	分光ユニット	0～＋35℃
	使用周囲湿度	センサヘッド	35～85％RH（結露なきこと）
	使用周囲湿度	分光ユニット	35～80％RH（結露なきこと）
	耐振動	センサヘッド	10～55Hz　複振幅1.5mm　X、Y、Z各方向2時間
	耐振動	分光ユニット	10～55Hz　複振幅0.5mm　X、Y、Z各方向2時間
材質	センサヘッド		SUS
材質	分光ユニット		ポリカーボネート
質量	センサヘッド（コードリール含む）		約38g
質量	分光ユニット		約1kg

※	センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
※1	センサヘッド前面からの距離を表しています。なお、長距離タイプについてはセンサヘッド前面からの距離に最大±0.2mmの個体差があります。
※2	測定範囲内における最小スポット径を表しています。
※3	測定対象はガラス表面で、平均回数256回に設定して測定した場合の値
※4	測定対象はガラス表面で、測定範囲中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値