: 0120-840-860

マイクロヘッド型分光干渉レーザ変位計
SI-Fシリーズ

ヘッド部

種類			マイクロヘッドタイプ	長距離タイプ	厚み測定タイプ
型式	センサヘッド		SI-F01	SI-F10	SI-F80
型式	分光ユニット		SI-F01U	SI-F10U	SI-F80U
測定範囲			0.05～1.1mm※1	11.3～12.35mm※1	0.05～1.1mm※2 （検出可能距離 80～81.1mm）
測定用光源			赤外SLD 中心波長820nm 0.6mW クラス1（JIS C6802）
スポット径※3			φ20μm	φ40μm	φ20μm
直線性			±0.2μm※4	±0.3μm※4	±0.2μm※5
分解能			0.001μm※6	0.01μm※6	0.001μm※7
サンプリング周期			200μs
ガイド用光源			赤色半導体レーザ 650nm 0.1mW クラス1（JIS C6802）
LED表示			測定中心付近：緑点灯測定範囲内：橙点灯測定範囲外：橙点滅
温度特性	分光ユニット		0.01％ of F.S./℃
耐環境性	保護構造	センサヘッド	IP67	IP64	IP64
	使用周囲照度		白熱ランプ、蛍光灯：10000lx以下
	使用周囲温度	センサヘッド	0～＋85℃	0～＋40℃	0～＋50℃
	使用周囲温度	分光ユニット	0～＋35℃
	使用周囲湿度	センサヘッド	35～85％RH（結露なきこと）
	使用周囲湿度	分光ユニット	35～80％RH（結露なきこと）
	耐振動	センサヘッド	10～55Hz 複振幅1.5mm XYZ各方向2時間
	耐振動	分光ユニット	10～55Hz 複振幅0.5mm XYZ各方向2時間
材質	センサヘッド		SUS
材質	分光ユニット		ポリカーボネート
質量	センサヘッド（コードリール含む）		約24g	約38g	約39g
質量	分光ユニット		約1kｇ

※1 センサヘッド前面からの距離を表しています。なお、長距離タイプについてはセンサヘッド前面からの距離に最大±0.2mmの
個体差があります。
※2 厚み測定タイプはガラスとガラスの隙間厚みの測定範囲を表しています。検出可能距離の範囲内に測定対象面が入るようにしてください。
※3 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
※4 測定対象はガラス表面で、平均回数256回に設定して測定した場合の値
※5 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数256回に設定して測定した場合の値
※6 測定対象はガラス表面で、測定範囲中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
※7 測定対象はt=0.3のガラス厚みで、検出可能距離内にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値

センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。

本製品は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出の許可が必要な貨物に該当しますので、日本国外に持ち出す際には、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
なお、輸出規制非該当品も用意しております。別途お問い合わせください。

コントローラ部

種類			メインコントローラ	増設コントローラ※1
型式	一体型		SI-F1000V	SI-FA100
型式	分離型※2		SI-F1000/SI-FD500	SI-FA100
分光ユニット接続台数			2台	1台
表示	最小表示単位		0.001μm	なし
	表示範囲		±999.999μm～±9999.99mm （7段階選択可能）
	表示周期		10回/秒
端子台	レーザリモートインターロック入力		無電圧入力	なし
	タイミング1入力
	リセット1入力
	オートゼロ1入力
	レーザオフ1/2入力
	アナログ電圧出力		±10V ×2出力出力インピーダンス 100Ω	±10V ×1出力出力インピーダンス 100Ω
	アナログ電流出力		4～20ｍA×2出力最大負荷抵抗 350Ω	4～20ｍA×1出力最大負荷抵抗 350Ω
	アラーム出力		NPNオープンコレクタ出力（N.C.）	なし
	総合判定出力		NPNオープンコレクタ出力	なし
拡張コネクタ	タイミング2入力		無電圧入力	なし
	リセット2入力		無電圧入力
	オートゼロ2入力		無電圧入力
	プログラム切換入力		無電圧入力×3入力
	アラーム出力		NPNオープンコレクタ出力（N.C.）
	判定・バイナリ出力	バイナリ出力	測定値データ出力（21bit） OUT選択可 NPNオープンコレクタ出力
		ストローブ出力	NPNオープンコレクタ出力
		バイナリ選択出力	NPNオープンコレクタ出力
		バイナリ選択入力	無電圧入力
RS232Cインターフェイス			測定データ出力および制御入出力（ボーレート115200bit/sまで選択可）	なし
USBインターフェイス			USB2.0　HI-SPEED対応（USB1.1 Full-SPEED互換）
Ethernetインターフェイス			100Base-TX/10Base-T
主な機能			12OUT同時測定機能、演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、計測機能、測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、データストレージ機能、光量モニタ機能、8プログラムメモリ機能、干渉計モード、マスク機能、設定支援ソフト接続機能、他
定格		電源電圧	DC 24V±10％リップル10％（P-P）以下	メインコントローラから供給
定格		最大消費電流	ヘッド1台接続時 0.6A以下ヘッド6台接続時 1.5A以下	メインコントローラから供給
耐環境性	使用周囲温度※3		0～＋50℃
	使用周囲湿度		35～85％RH（結露なきこと）
	耐振動※4		10～55Hz 複振幅0.5mm XYZ各方向2時間
質量			約600g	約300g