【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

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特長(1) ウェハのみの厚みが正確に測れる

ウェハのみの厚みが正確に測れる

Siをはじめ、GaAs、SiC、InP、a-Siなどの半導体を透過できる近赤外SLDを採用。BG(バックグラインド)テープが付いたままでも、ウェハのみの厚みを正確に測定できます。

分光干渉式ウェハ厚み計 SI-F80Rシリーズ

ウェハのみの厚みが正確に測れる

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