【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

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特長(3) 従来の問題点をすべて解決

従来の問題点をすべて解決

従来の方法では

接触式で測定

  1. 測定の際にウェハを割ってしまう恐れがありました。
  2. BGテープ込みの高さを測定するため、
    テープ厚が変わると、その分だけ
    誤差になっていました。

センサ2台で挟み込んで非接触に測定

  1. センサ2台の光軸を一直線上に
    合わせるのが大変でした。
  2. BGテープ込みの厚みを測定するため、
    テープの厚みが変わると、
    それが丸ごと誤差になっていました。

SI-F80Rシリーズなら

ライン横で簡単かつ正確に測定

  1. 80mm離して設置するだけで簡単に測れます。
  2. 非接触なのでウェハを傷つけません。
  3. ウェハのみの厚みを直接測れるので、
    BGテープの厚みの影響を受けません。

ライン内で常時モニタリング

  1. ヘッドが小さく、80mm離して設置できるので、装置内でウェハ厚を常時測定しながら研磨することが可能です。

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