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分光干渉式ウェハ厚み計 SI-F80Rシリーズ
特長(4) 試作ウェハの評価時間を短縮
専用ステージと組み合わせることで、
簡単にウェハ全体の厚み分布をマッピングできます。
3D表示
ウェハの厚み分布を3D表示し、全体の傾向を
把握できます。
プロファイル計測
ウェハの指定した箇所の断面プロファイルを表示し、うねりのＰ−Ｐ計測や波形比較など細かな解析ができます。
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