分光干渉式ウェハ厚み計 SI-F80Rシリーズ

分光ユニット

SI-F80RU

ダウンロード

仕様

種類			ウェハ厚み測定タイプ
型式	センサヘッド		SI-F80R
型式	分光ユニット		SI-F80RU
測定範囲※1			10～310μm（n=3.5 のとき）
検出可能距離			80 ～ 81.1mm
測定用光源			赤外SLD　出力0.6mW　レーザクラス１（JIS C6802）
スポット径※2			φ25μm
直線性※3			±0.1μm（n=3.5 のとき）
分解能※4			0.001μm
サンプリング周期			200μs
LED表示			測定中心付近：緑点灯　測定範囲内：橙点灯測定範囲外：橙点滅
温度特性	分光ユニット		0.01% of F.S./℃
耐環境性	保護構造	センサヘッド	IP64
	使用周囲照度		白熱ランプ、蛍光灯：10000ｌｘ以下
	使用周囲温度	センサヘッド	0 ～ +50℃
	使用周囲温度	分光ユニット	0 ～ +35℃
	使用周囲湿度	センサヘッド	35 ～ 85％RH（結露なきこと）
	使用周囲湿度	分光ユニット	35 ～ 80％RH（結露なきこと）
	耐振動	センサヘッド	10 ～ 55Hz　複振幅　1.5mm　XYZ 各方向2時間
	耐振動	分光ユニット	10 ～ 55Hz　複振幅　0.5mm　XYZ 各方向2時間
材質	センサヘッド		SUS
材質	分光ユニット		ポリカーボネート
質量	センサヘッド（コード含む）		約70g
質量	分光ユニット		約1.2kｇ

※	センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
※1	屈折率n=3.5のときの厚み測定範囲を表しています。（屈折率n=1のときの厚み測定範囲は35～1100μmです。）
※2	測定範囲内における最小スポット径を表しています。
※3	測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数256回に設定して測定し、屈折率n=3.5に換算した値
※4	測定対象はt=0.3のガラス厚みで、検出可能距離内にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値