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分光干渉式ウェハ厚み計 SI-F80Rシリーズ

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仕様

種類 ウェハ厚み測定タイプ
型式 センサヘッド SI-F80R
分光ユニット SI-F80RU
測定範囲 ※1 10～310μm（n=3.5 のとき）
検出可能距離 80～81.1mm
測定用光源 赤外SLD 出力0.6mW レーザクラス1（JIS C6802）
スポット径 ※2 φ25μm
直線性 ※3 ±0.1μm（n=3.5 のとき）
分解能 ※4 0.001μm
サンプリング周期 200μs
LED表示 測定中心付近：緑点灯/測定範囲内：橙点灯/測定範囲外：橙点滅
温度特性 分光ユニット 0.01％ of F.S./℃
耐環境性 保護構造 センサヘッド IP64
使用周囲照度 白熱ランプ、蛍光灯：10000ｌｘ以下
使用周囲温度 センサヘッド 0～＋50℃
分光ユニット 0～＋35℃
使用周囲湿度 センサヘッド 35～85％RH（結露なきこと）
分光ユニット 35～80％RH（結露なきこと）
耐振動 センサヘッド 10～55Hz 複振幅 1.5mm XYZ 各方向2時間
分光ユニット 10～55Hz 複振幅 0.5mm XYZ 各方向2時間
材質 センサヘッド SUS
分光ユニット ポリカーボネート
質量 センサヘッド(コード含む） 約70g
分光ユニット 約1.2kｇ
  • ・ センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
  • ※1 屈折率n=3.5のときの厚み測定範囲を表しています。（屈折率n=1のときの厚み測定範囲は35～1100umです。）
  • ※2 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
  • ※3 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数256回に設定して測定し、屈折率n=3.5に換算した値
  • ※4 測定対象はt=0.3のガラス厚みで、検出可能距離内にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
本製品は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出の許可が必要な貨物に該当しますので、
日本国外に持ち出す際には、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
なお、輸出規制非該当品も用意しております。別途お問い合わせください。

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