分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器 SI-T シリーズ
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今まで見れなかった
『厚みムラ』がわかる
フィルム厚み測定器

分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ

今まで見れなかった“厚みムラ”を見える化

β線やX線のような透過型の測定器はスポット径が数mmと大きく、細かな厚みムラが見れませんでした。
形状測定能力の高いSI-Tシリーズは、「ø30μmの小スポットと1msの高速サンプリング」により、細かな厚みプロファイルを提供します。

詳しくは、カタログ(PDF)をダウンロードしてご覧ください。

多層フィルム各層の厚み測定を実現

センサヘッドから、それぞれの反射面までの距離が測定できるため、内部演算を行なうことで各層の厚みが測定できます。
材質による吸収率や閾値設定のような煩わしい設定も不要です。

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粘着層も安定測定

光量積算機能というキーエンス独自技術により、粘着層のような荒れている表面でも安定測定が可能です。

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シーンに合わせた2種のヘッドラインナップ

多層変位測定タイプ SI-T10 基準距離 9㎜ 厚み範囲 5~670μm 分解能0.01μm
長距離厚み測定タイプ SI-T80 基準距離 80㎜ 厚み範囲 5~670μm 分解能0.01μm