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センサヘッド 多層変位測定タイプ

センサヘッド 多層変位測定タイプ SI-T10

仕様

種類 多層変位測定タイプ
型式 センサヘッド SI-T10
分光ユニット SI-T10U
測定範囲(屈折率n=1) 0.01~1.0mm
基準距離※1 9mm
測定用光源 赤外SLD、出力1mW、クラス1レーザ製品(JIS C6802)
スポット径※2 φ30μm
直線性 ±0.3μm※3
分解能※4 0.01μm(0.25μm)※5
サンプリング周期 1ms
LED表示 測定中心付近:緑点灯/測定範囲内:橙点灯/測定範囲外:橙点滅
耐環境性 保護構造 センサヘッド IP64
使用周囲照度 白熱ランプ、蛍光灯:10000lx以下
使用周囲温度 センサヘッド 0~+40℃
分光ユニット 0~+35°C
使用周囲湿度 センサヘッド 35~85%RH(結露なきこと)
分光ユニット 35~80%RH(結露なきこと)
耐振動 センサヘッド 10~55Hz 複振幅 1.5mm XYZ各方向2時間
分光ユニット 10~55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間
材質 センサヘッド SUS304
分光ユニット ポリカーボネート
質量 センサヘッド
(コード含む)
約70g
分光ユニット 約1.3kg
※1 センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。
※2 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
※3 測定対象はガラス表面で、平均回数64回に設定して測定した場合の値
※4 測定対象はt=0.1mmのガラス厚みで測定中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
※5 ピーク間演算を使用しない場合は0.25μmになります。
センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。

 

外形寸法図

単位:mm

外形寸法図_VT3-Q5H


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