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分光干渉変位タイプ　多層膜厚測定器　SI-Tシリーズ

コントローラ（表示分離タイプ）

SI-T1000

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型式別PDF（仕様・外形寸法図）

仕様

種類			メインコントローラ
型式	分離型※1		SI-T1000
分光ユニット接続台数			2台
表示	最小表示単位		0.001μm
	表示範囲		±999.999μm～±9999.99mm（7段階選択可能）
	表示周期		10回/秒
端子台	レーザリモートインターロック入力		無電圧入力
	タイミング1入力		無電圧入力2
	リセット1入力		無電圧入力
	オートゼロ1入力
	レーザコントロール入力
	アナログ電圧出力		±10V×2出力、出力インピーダンス 100Ω
	アナログ電流出力		4～20mA×2出力、最大負荷抵抗 350Ω
	アラーム出力		NPNオープンコレクタ出力（N.C.）
	総合判定出力		NPNオープンコレクタ出力
拡張コネクタ	タイミング入力		無電圧入力2
	リセット入力		無電圧入力
	オートゼロ入力		無電圧入力
	プログラム切換入力		無電圧入力×3入力
	アラーム出力		NPNオープンコレクタ出力（N.C.）
	判定・バイナリ出力	バイナリ出力	測定値データ出力（21bit）、OUT選択 NPNオープンコレクタ出力
		ストローブ出力	NPNオープンコレクタ出力
		バイナリ選択出力	NPNオープンコレクタ出力
		バイナリ選択入力	無電圧入力
RS232Cインターフェイス			測定データ出力および制御入出力（ボーレート115200bit/sまで選択可）
USBインターフェイス			USB2.0 HI－SPEED対応（ USB1.1 Full-SPEED互換）
Ethernetインターフェイス			100Base－TX/10Base－T
主な機能			測定面設定・測定面間演算機能、層数チェック機能、光量積算機能、振れ自動補正機能、12OUT同時測定機能、演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、計測機能、測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、データストレージ機能、光量モニタ機能、8プログラムメモリ機能、マスク機能、設定支援ソフト接続機能、他
電源	電源電圧		DC 24V±10％リップル10％（P–P）以下
電源	最大消費電流		ヘッド1台接続時 0.6A以下ヘッド6台接続時 1.5A以下
耐環境性	使用周囲温度※2		0～+50℃
	使用周囲湿度		35～85％RH 結露なきこと
	耐振動※3		10～55Hz 複振幅0.5mm XYZ各方向2時間
質量			約600g

※1	SI-T1000単独で使用できます。測定値表示および設定変更は、表示パネル（SI-TD500）または設定支援ソフト（SI-H1T）より可能です。
※2	増設コントローラ数が2台以上の場合、使用周囲温度は0〜40°Cです。
※3	増設コントローラ数が2台以上の場合、耐振動は「10～55Hz 複振幅0.3mm XYZ各方向2時間」です。
・	NPNオープンコレクタ出力定格最大50mA（40V以下）、残留電圧0.5V以下
・	無電圧入力定格 ON電圧 1V以下、OFF電流0.6mA以下
・	本機の各入出力回路間は、一部内部共通になっています。配線や外部機器間の電位差によって内部共通の端子間に電位差を生じないようにしてください。