分光干渉変位タイプ　多層膜厚測定器　SI-Tシリーズ

分光ユニット

SI-TS10U

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仕様

種類			スキャン変位測定タイプ
型式			SI－TS10※1
型式			SI‐TS10U
測定範囲（屈折率n=1）			0.01～1.0mm
基準距離※2			9.1mm
測定用光源			赤外SLD、出力1mW、レーザクラス1（JIS C6802）
スポット径※3			φ30μm
直線性			±0.3μm※4
分解能※5			0.01μm（0.25μm）※6
サンプリング周期			1ms
スキャン範囲			1mm±0.1mm
スキャン周期			7.8Hz±0.1Hz
LED表示			測定中心付近：緑点灯/測定範囲内：橙点灯/測定範囲外:橙点滅
耐環境性	保護構造	センサヘッド	IP64
	使用周囲照度		白熱ランプ、蛍光灯:10000lx以下
	使用周囲温度	センサヘッド	0～＋40℃
	使用周囲温度	分光ユニット	0～+35°C
	使用周囲湿度	センサヘッド	35～85％RH（結露なきこと）
	使用周囲湿度	分光ユニット	35～80%RH（結露なきこと）
	耐振動	センサヘッド	10～55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間
	耐振動	分光ユニット	10～55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間
材質		センサヘッド	アルミ
材質		分光ユニット	ポリカーボネート
質量		センサヘッド（コード含む）	約340g
質量		分光ユニット	約1.3kg

※1	スキャン変位測定ヘッドのスキャン機構を使用するための電源電圧DC24V±10% リップル10%（P–P）以下最大消費電力0.3A以下
※2	センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。
※3	測定範囲内における最小スポット径を表しています。
※4	測定対象はガラス表面で、平均回数64回に設定して測定した場合の値
※5	測定対象はt=0.1mmのガラス厚みで測定中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
※6	ピーク間演算を使用しない場合は0.25μmになります。
・	センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。