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多層膜厚測定器 SI-Tシリーズ

仕様

ヘッド部
コントローラ部
SI-H1T（SI-Navigator T）使用システム環境

ヘッド部

種類			多層変位測定タイプ	長距離厚み測定タイプ	スキャン変位測定タイプ
型式		センサヘッド	SI-T10	SI-T80	SI‐TS10※1
型式		分光ユニット	SI-T10U	SI-T80U	SI-TS10U
測定範囲（屈折率n=1）			0.01～1.0mm	0.01～1.0mm	0.01～1.0mm
基準距離※2			9mm	80mm	9.1mm
測定用光源			赤外SLD , 出力1mW , レーザクラス1（JIS C6802）
スポット径※3			φ30μm	φ25μm	φ30μm
直線性			±0.3μm※4	±0.3μm※5	±0.3μm※4
分解能※6			0.01μm（0.25μm）※7	0.01μm	0.01μm（0.25μm）※7
サンプリング周期			1ms
スキャン範囲			－		1mm±0.1mm
スキャン周期			－		7.8Hz±0.1Hz
LED表示			測定中心付近:緑点灯/測定範囲内:橙点灯/測定範囲外:橙点滅
耐環境性	保護構造	センサヘッド	IP64	IP64	IP64
	使用周囲照度		白熱ランプ、蛍光灯:10000lx以下
	使用周囲温度	センサヘッド	0～＋40℃	0～＋50℃	0～＋40℃
	使用周囲温度	分光ユニット	0～＋35℃
	使用周囲湿度	センサヘッド	35～85％RH（結露なきこと）
	使用周囲湿度	分光ユニット	35～80％RH（結露なきこと）
	耐振動	センサヘッド	10～55Hz 複振幅 1.5mm XYZ各方向2時間		10～55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間
	耐振動	分光ユニット	10～55Hz 複振幅 0.5mm XYZ各方向2時間
材質		センサヘッド	SUS304		アルミ
材質		分光ユニット	ポリカーボネート
質量		センサヘッド（コード含む）	約70g	約70g	約340g
質量		分光ユニット	約1.3kg

※1 スキャン変位測定ヘッドのスキャン機構を使用するための電源電圧DC24V±10% リップル10%（P‒P）以下最大消費電流0.3A以下
※2 センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。
※3 測定範囲内における最小スポット径を表しています。
※4 測定対象はガラス表面で、平均回数64回に設定して測定した場合の値
※5 測定対象は2枚のガラス板の隙間厚みで、平均回数64回に設定して測定した場合の値
※6 測定対象はt=0.1mmのガラス厚みで測定中心にて平均回数4096回に設定して測定した場合の値
※7 ピーク間演算を使用しない場合は0.25μmになります。
● センサヘッドと分光ユニットはペア調整されています。互換性はありません。

コントローラ部

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種類			メインコントローラ	増設コントローラ※1
型式		一体型	SI-T1000V	SI-TA100
型式		分離型※2	SI-T1000/SI-TD500	SI-TA100
分光ユニット接続台数			2台	1台
表示	最小表示単位		0.001μm	なし
	表示範囲		±999.999μm～±9999.99mm （7段階選択可能）
	表示周期		10回/秒
端子台	レーザリモートインターロック入力		無電圧入力	なし
	タイミング1入力		無電圧入力2
	リセット1入力		無電圧入力
	オートゼロ1入力
	レーザコントロール入力
	アナログ電圧出力		±10V×2出力 , 出力インピーダンス 100Ω	±10V×1出力 , 出力インピーダンス 100Ω
	アナログ電流出力		4～20mA×2出力 , 最大負荷抵抗 350Ω	4～20mA×1出力 , 最大負荷抵抗 350Ω
	アラーム出力		NPNオープンコレクタ出力（N.C.）	なし
	総合判定出力		NPNオープンコレクタ出力	なし
拡張コネクタ	タイミング入力		無電圧入力2	なし
	リセット入力		無電圧入力
	オートゼロ入力		無電圧入力
	プログラム切換入力		無電圧入力×3入力
	アラーム出力		NPNオープンコレクタ出力（N.C.）
	判定・バイナリ出力	バイナリ出力	測定値データ出力（21bit）,OUT選択 NPNオープンコレクタ出力
		ストローブ出力	NPNオープンコレクタ出力
		バイナリ選択出力	NPNオープンコレクタ出力
		バイナリ選択入力	無電圧入力
RS232Cインターフェイス			測定データ出力および制御入出力（ボーレート115200bit/sまで選択可）	なし
USBインターフェイス			USB2.0 HI-SPEED対応（ USB1.1 Full-SPEED互換）
Ethernetインターフェイス			100Base‒TX/10Base‒T
主な機能			測定面設定・測定面間演算機能、層数チェック機能、光量積算機能、振れ自動補正機能、12OUT同時測定機能、演算機能、平均機能、フィルタ機能、校正機能、計測機能、測定値アラーム設定機能、公差設定機能、オートゼロ機能、データストレージ機能、光量モニタ機能、 8プログラムメモリ機能、マスク機能、設定支援ソフト接続機能、他
電源	電源電圧		DC 24V±10％リップル10％（P‒P）以下	メインコントローラから供給
電源	最大消費電流		ヘッド1台接続時 0.6A以下ヘッド6台接続時 1.5A以下	メインコントローラから供給
耐環境性	使用周囲温度※3		0～＋50℃
	使用周囲湿度		35～85％RH 結露なきこと
	耐振動※4		10～55Hz 複振幅0.5mm XYZ各方向2時間
質量			約600g	約300g

※1 増設コントローラは、メインコントローラに最大4台まで接続できます。
※2 SI-T1000単独で使用できます。測定値表示および設定変更は、表示パネル（SI-TD500）または設定支援ソフト（SI-H1T）より可能です。
※3 増設コントローラ数が2台以上の場合、使用周囲温度は0～40℃です。
※4 増設コントローラ数が2台以上の場合、耐振動は「10～55Hz 複振幅0.3mm XYZ各方向2時間」です。
● NPNオープンコレクタ出力定格最大50mA（40V以下）、残留電圧0.5V以下
● 無電圧入力定格 ON電圧 1V以下、OFF電流0.6mA以下
● 本機の各入出力回路間は、一部内部共通になっています。
配線や外部機器間の電位差によって内部共通の端子間に電位差を生じないようにしてください。

SI-H1T（SI-Navigator T）使用システム環境

種類	必要な環境
CPU	Pentium III 1GHz以上（1.7GHz以上を推奨）
対応OS	Windows 7※1/Windows Vista※2/Windows XP※3/Windows 2000 Professional※4
メモリ容量	256MB以上（1GB以上を推奨）
ディスプレイ解像度	1024×768ピクセル、24bit フルカラー以上
インストール必要容量	1GB以上
インターフェース	以下のいずれかのインターフェースを搭載していること ●USB：Revision2.0ハイスピード（USB1.1互換時フルスピード）※5 ●LAN：100BASE-TX、10BASE-T※6 ●RS-232C（シリアルポート）