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変位センサ（光学式）
変位センサ（光学透過型/渦電流式/超音波式/接触式）

変位センサ（光学式）
 
 
光学式
(分光干渉方式)
光学式
(共焦点式)
光学式
(三角測距式)
光学式
(2次元三角測距式)
項目
SIシリーズ
 LT-9000
シリ－ズ
 LJ-G
シリ－ズ
センサヘッド
外観
特長
ヘッドが小さい
高分解能1nm
6ヘッドまで接続
可能
あらゆる材質の
測定が可能。
表面状態の影響を受けない。
透明体の膜厚測定が可能。
高精度
高さ/幅の2次元測定
ピーク/ボトム/
平均など任意に
選択可
あらゆる材質の
測定が可能。
距離を離して小さな面積が測定できる。
対象物 固体 ○ ◎ ◎ ◎
透明体 ◎ ◎ ◎ ―
鏡面体 ◎
 ◎
 ◎
 ―
繰り返し精度
または分解能		 0.001μm 0.01μm 0.01μm 0.2μm
測定範囲 0.05～1.1mm 0.2～2mm 1.6～750mm X軸(幅)：73mm
Z軸(高さ)：     
13～248mm    
基準距離 ～81.1mm 1～28mm 0.8～500mm 15～200mm
応答周波数 500Hz
 ～350Hz
 ～50kHz
 100Hz
形状   ◎ ◎ ◎
寸法 ◎ ◎ ◎ ◎
振れ ○ ○ ◎ ○
ギャップ ◎ ○ ○ ○
レベル   ○ ○ ○
 
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変位センサ（光学透過型/渦電流式/超音波式/接触式）
  光学透過型
渦電流式
超音波式
接触式
項目
LSシリ－ズ
 EX-Vシリ－ズ
 UD-300シリ－ズ
 AT-Vシリ－ズ
センサヘッド
外観
特長
高繰り返し精度・
高精度。
透明体の測定可能。
高分解能･高精度。
センサヘッドが小型。
耐環境性抜群。
透明体の測定が可能。
色が変わっても測定への影響がない。
透明体(固体)を高精度に測定できる。
測定ポイントが小さい。
対象物 固体 ◎ 金属のみ ◎ ◎
透明体 ◎ ◎ ◎
鏡面体 ◎ ― ◎ ◎
繰り返し精度
または分解能		 0.06μm 0.3μm
 0.1mm 0.1μm
測定範囲 0.04～120mm 0～10mm 60mm～10m 0～30mm
基準距離 ― ― ― ―
応答周波数 ～240Hz ～18kHz
 ～20Hz
 ～40Hz
形状
寸法 ◎
○
 ◎
振れ ◎ ◎    
ギャップ ◎ ○    
レベル     ◎  
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