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真空チャンバ内アーム
歪み測定 |
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メカシャーシの反り測定 |
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| 改善方法 |
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| 改善方法 |
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| 経時変化などによるロボットアームの歪みを測定し、ウェハ落下事故や搭載位置のズレを防止します｡ |
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小型・薄型化が進む機器のシャーシの反りを測定します。 |
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| メリット |
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| メリット |
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超ロングレンジ測定のため、ビューポート越しから、高精度に測定が可能です｡
可視光赤色レーザにより、距離を離しても測定位置を簡単に確認する事ができます｡ |
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Φ8mmのスリムヘッドのため多点測定が可能です。
スピードエラーを起こさないノンエラー構造や原点合わせ不要構造により高いユーザビリティを実現しています。 |
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| この商品で実現できます |
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| この商品で実現できます |
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