変位計/寸法測定器 ソリューション・改善事例

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  8. 平行度測定
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  10. 振動測定
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  12. 寸法測定
  13. 深さ測定
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  16. 膜厚測定
  17. 蛇行量・エッジ・巾ズレ測定
  18. ストローク測定・下死点検査
お問合せ：0120-840-860
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平行度測定

平行度測定を弊社変位センサ/測定器によって行なうことで、得られるメリットをご紹介します。
「平行度測定」の画像
HDクランプの平行度
 
改善方法  
HDクランプの組み付け時の平行度測定を行ないます。
メリット  
3点を測定することで正確にクランプの平行度を測定できます。
QFL回路を採用することで個体差や温度特性をキャンセルして高精度に測定できます。
この商品で実現できます

高精度接触式
デジタル変位センサ
AT-Vシリーズ
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詳しい改善内容をお知りになりたい方、その他個別のご相談は
こちらまでお電話ください。 Web窓口 0120-840-860
その他の事例紹介
ウェハの平行度測定 アクチュエータの平行度測定
「ウェハの平行度測定」の画像
 
「アクチュエータの平行度測定」の画像
改善方法  
 
改善方法  
ウェハの平行度測定を行ないます。   DVDピックアップのアクチュエータ部の平行度測定を行ないます。
メリット  
 
メリット  
QFL回路を採用することで個体差や温度特性をキャンセルして高精度に測定できます。
スピードエラーを起こさないノンエラー構造や原点合わせ不要構造により高いユーザビリティを実現しています		   スリムサイズのセンサヘッドにより、複数箇所の測定を同時に行なうことができます。
0.1μmの高分解能により、高精度な数値管理が可能になります。

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お役立ち情報

用途別測定ガイド

測定対象別に、最適な測定方法をご紹介！

  1. 厚み
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実績例
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測定の基礎
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技術資料一覧
測定のテクニックや光学系の
基礎知識、データ解析テクニックなど