• 対象物の変位（高さ）を測定します。
  ２台使用して段差や厚みを測定するなど応用次第で汎用的に使用することが可能です。
  透明な対象物の表面と裏面からの反射光から厚みを測定することも可能です。

• 対象物の形状を測定します。
  得られた形状から同時に複数ポイントの段差や幅などが測定可能です。

レーザ変位計と用途は同じです。
下記のような場合に最適です。

• 1μｍよりも高精度な測定の場合
• 設置スペースが非常に狭い場合
• 膜厚＆ギャップ測定（フィルム厚みやウェハ厚み、タッチパネルギャップなど）
• 特殊環境での測定（高温環境、真空環境など）
• 温度ドリフトや発熱が気になる場合

下記のような場合に最適です。

• 測定箇所が非常に小さい場合
• 微細形状測定の場合