分光干渉反射方式 SIシリーズ

選定のポイント
  1. 分解能1nmの超高精度
  2. 周囲温度の影響を受けない

分光干渉方式の測定器で3点を検出し、反りを測定します。各ポイントの測定値をコントローラ内部で演算させることで測定が可能です。