共焦点方式 LTシリーズ

選定のポイント
  1. 3次元解析ソフトによるデータ解析可能
  2. 任意のレーザ変位計と組み合わせ可能

ステージがX-Yに駆動し、高さをレーザ変位計で測定。最少2μmの微細ピッチで3次元測定が可能です。