分光干渉反射方式 SIシリーズ

選定のポイント
  1. 分解能1nmの超高精度
  2. 周囲温度の影響を受けない

センサを2台使用し、対象物を挟み込むことにより、厚みを測定します。透明体であれば片側からの照射で対象物の厚みをダイレクト測定可能です。
薄膜・多層膜厚の測定もご相談ください。