アドバンステクノロジー：01 光学・回路設計　カラー3D形状測定顕微鏡｜開発最前線　採用基本情報　キャリア採用：株式会社キーエンス

レーザ顕微鏡の中でも、可視光限界波長の紫色レーザを使った高出力タイプは、世界初。前機種で培った＜コンフォーカル原理＞を活かし、操作をPCインターフェースへ転換。「見えなかったものが、はっきりと見える」かつてない視界を持つレーザ顕微鏡が開発された。

可視光線限界波長408nm
［バイオレットレーザ］採用

当時まだ開発段階だった紫色レーザは、素子メーカーとの協力によって完成度が高められ、採用に至った。観察倍率18000倍・Z軸計測分解能0.01μmは、従来の光学顕微鏡の限界を超え、電子顕微鏡に匹敵する拡大解析・高精度表面形状解析を可能にしている。

キーエンスの特許技術［リアルカラー3D解析］による、
驚異的な表面形状解析

高解像度カラーCCDカメラ採用で、よりリアルなカラー超深度解析が可能になった。表面形状の凹凸までをカラーではっきりと再現するこの技術は、キーエンスの他にはない。同時に、表面形状・荒さ・表面積・体積などの計測機能も盛り込み、PCによってその全てをコントロール。

［極小ピンホール］によるコンフォーカル原理で、
全体に焦点が合った［超深度画像］を実現

「極小ピンホール」機構が正確な焦点位置を検出。さらに「高精度リニアスケール」をレンズ移動機構に搭載し、Z軸方向にレンズを確実に移動させることにより0.01μmの高分解能を実現。この2つの高度なエンジニアリングのコンビネーションによって得られたZ軸（高さ測定）情報に、それぞれの焦点位置（ジャストフォーカス）でのカラーCCDカメラのリアルなカラー画像を重ね合わせたのが「カラー超深度」画像。レーザの反射光量画面とそれぞれの焦点位置におけるカラー情報を革新的な技術力で結合させることに成功した。