半導体業界　業界別改善事例紹介　電子計測器/レコーダ：株式会社キーエンス


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半導体製造装置の放電/制御信号混在収集

電源電圧の落ち込みや消費電力を測定します。また、電圧降下時の影響や、制御信号と実動作の相関なども調査します。


便利な使い方

従来は、サイクルの短い装置制御信号と、比較的サイクルが長い放電履歴データの両方を計測するには計測器も2台必要でしたが、DUAL計測機能搭載により1台で効率よくデータを収集できます。また、ヒストリメモリ機能により、異常発生と、その前後の過程を調べることができ、トラブルにすばやく対応できるようになります。

この商品で実現できます

PCリンク型
高機能レコーダ
GR-3500