ワンショット3D形状測定機 コントローラ VR-3000

型式

VR-3000

種類

コントローラ

対応ヘッド

VR-3200,VR-3100,VR-3050

観察測定範囲

広視野モード

15型モニタ上倍率 12×

横 (H)

24mm

縦 (V)

18mm

15型モニタ上倍率 25×

横 (H)

12mm

縦 (V)

9mm

15型モニタ上倍率 38×

横 (H)

8mm

縦 (V)

6mm

15型モニタ上倍率 50×

横 (H)

縦 (V)

4.5mm

高倍率モード

15型モニタ上倍率 40×

横 (H)

7.6mm

縦 (V)

5.7mm

15型モニタ上倍率 80×

横 (H)

3.8mm

縦 (V)

2.9mm

15型モニタ上倍率 120×

横 (H)

2.5mm

縦 (V)

1.9mm

15型モニタ上倍率 160×

横 (H)

縦 (V)

1.4mm

ズーム

1 ～ 4倍

測定可能高さ

広視野モード：10 mm (±5 mm)、高倍率モード：1mm (±0.5 mm)^*1

表示分解能

0.1 µm (VR-3200/3100)、0.5 µm (VR-3050)^*2

繰り返し精度 (σ)

高さ測定

0.5µm^*3

幅測定

広視野モード：1µm 高倍率モード：0.5µm^*3

測定精度

高さ測定

±3µm^*3

幅測定

広視野モード：5µm 高倍率モード：2µm^*3

連結機能

全自動(XY自動制御+オートフォーカス)測定
自動調整、自動テンプレート解析
手動(XY、Z)
^*4

ステージ

XYストローク

184 x 88mm(電動)
70mm(200mm^*5)(手動)^*6

Z ストローク

90 mm (電動) (VR-3200)、90 mm (電動) (VR-3100)、88mm (手動) (VR-3050)

回転機構

±180° (試料回転ステージ) (VR-3200)、±90° (θステージ) (VR-3100)

チルト機構

±30°以上 (VR-3200)、±30°以上 (VR-3100)

作動距離

75 mm

撮像素子

1型400万画素モノクロCMOS

投光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ x 2

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

照明系

観察用光源

LEDリング照明 (赤,緑,青) (VR-3200、VR-3100)、LEDリング照明 (白) (VR-3050)

測定用光源

白色LED

画像サイズ

1024×768pix, 2048×1536pix

データ処理部

弊社指定専用PC (OSはWindows7)^*7

定格

電源電圧

AC 100 ～ 240 V ±10 %、50/60 Hz

消費電力

150VA

耐環境性

使用周囲湿度

35 ～ 80 % RH (結露しないこと)

質量

3.8 kg