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ワンショット3D形状測定機

ワンショット3D形状測定機 VR-3000


仕様

型式 VR-3000
種類 コントローラ
対応ヘッド VR-3100、VR-3050
観察測定範囲 VR-3100 広視野
モード
15型モニタ上倍率 12× 横(H):mm 24.0
縦(V):mm 18.0
15型モニタ上倍率 25× 横(H):mm 12.0
縦(V):mm 9.0
15型モニタ上倍率 38× 横(H):mm 8.0
縦(V):mm 6.0
15型モニタ上倍率 50× 横(H):mm 6.0
縦(V):mm 4.5
高倍率
モード
15型モニタ上倍率 40× 横(H):mm 7.6
縦(V):mm 5.7
15型モニタ上倍率 80× 横(H):mm 3.8
縦(V):mm 2.9
15型モニタ上倍率 120× 横(H):mm 2.5
縦(V):mm 1.9
15型モニタ上倍率 160× 横(H):mm 1.9
縦(V):mm 1.4
VR-3050 広視野
モード
15型モニタ上倍率 12× 横(H):mm 24.0
縦(V):mm 18.0
15型モニタ上倍率 25× 横(H):mm 12.0
縦(V):mm 9.0
15型モニタ上倍率 38× 横(H):mm 8.0
縦(V):mm 6.0
15型モニタ上倍率 50× 横(H):mm 6.0
縦(V):mm 4.5
ズーム 1~4倍
測定可能高さ※1 VR-3100 広視野モード 10mm(±5mm)
高倍率モード 1mm(±0.5mm)
VR-3050 広視野モード 10mm(±5mm)
表示分解
※2
VR-3100 0.1μm
VR-3050 0.5μm
繰り返し精度(σ)※5 高さ測定 0.5μm
幅測定 VR-3100 広視野モード 1μm
高倍率モード 0.5μm
VR-3050 広視野モード 1μm
作動距離 75mm
撮像素子 1型400万画素モノクロCMOS
投光レンズ ダブルテレセントリックレンズ ×2
受光レンズ ダブルテレセントリックレンズ
照明系 観察用
光源
VR-3100 LEDリング照明(赤,緑,青)
VR-3050 LEDリング照明(白)
測定用光源 白色LED
画像サイズ 1024×768pix, 2048×1536pix
ステージ XYストローク 最大270mm※4(標準時 70mm)
Zスト
ローク
VR-3100 90mm(電動)
VR-3050 88mm(手動)
回転機構 VR-3100 ±90°
VR-3050 -
チルト
機構
VR-3100 ±30°以上
VR-3050 -
データ処理部 弊社指定専用PC(OSはWindows7)※3
電源 電源電圧 AC100~240V 50/60Hz
消費電力 120VA
耐環境性 使用周囲温度 +15~+30℃
使用周囲湿度 35~80% ただし結露なきこと
質量 コントローラ 3.8kg
ヘッド 21.5kg(測定部単体 10.8kg)
※1 焦点位置を中心に 低倍側±5mm、高倍側±0.5mmの範囲
※2 水平分解能および高さ分解能
※3 Windows7 Professsinal および Ultimate
※4 画像連結用手動XYスライダOP-87717使用時
※5 測定対象物は弊社校正ゲージ。平均段差モードにて測定した場合の値。

 

外形寸法図

単位:mm



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