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ワンショット3D形状測定機 ヘッド

ワンショット3D形状測定機 ヘッド VR-3100

仕様

型式 VR-3100
種類 ヘッド
対応コントローラ VR-3000
15型モニタ上倍率 12×、25×、38×、50×(広視野モード)
40×、80×、120×、160×(高倍率モード)
観察測定範囲 横(H):mm 広視野モード:12× 24.0
広視野モード:25× 12.0
広視野モード:38× 8.0
広視野モード:50× 6.0
縦(V):mm 広視野モード:12× 18.0
広視野モード:25× 9.0
広視野モード:38× 6.0
広視野モード:50× 4.5
横(H):mm 高倍率モード:40× 7.6
高倍率モード:80× 3.8
高倍率モード:120× 2.5
高倍率モード:160× 1.9
縦(V):mm 高倍率モード:40× 5.7
高倍率モード:80× 2.9
高倍率モード:120× 1.9
高倍率モード:160× 1.4
ズーム 1~4倍
測定可能高さ※1 10mm(±5mm)(広視野モード)
1mm(±0.5mm)(高倍率モード)
表示分解能※2 0.1μm
繰り返し精度(σ)
※5
高さ測定 0.5μm
幅測定 1μm(広視野モード)
0.5μm(高倍率モード)
作動距離 75mm
撮像素子 1型400万画素モノクロCMOS
投光レンズ ダブルテレセントリックレンズ ×2
受光レンズ ダブルテレセントリックレンズ
照明系 観察用光源 LEDリング照明(赤,緑,青)
測定用光源 白色LED
画像サイズ 1024×768pix、2048×1536pix
ステージ XYストローク 最大200mm※4(標準時70mm)
Z ストローク 90mm(電動)
回転機構 ±90°
チルト機構 ±30°以上
データ処理部 弊社指定専用PC(OSはWindows7)※3
電源 電源電圧 AC100~240V 50/60Hz
消費電力 120VA
耐環境性 使用周囲温度 +15~+30℃
使用周囲湿度 35~80% ただし結露なきこと
質量 21.5kg(測定部単体 10.8kg)
※1 焦点位置を中心に 低倍側±5mm、高倍側±0.5mmの範囲
※2 水平分解能および高さ分解能
※3 Windows7 Professsinal および Ultimate
※4 画像連結用手動XYスライダOP-87717使用時
※5 測定対象物は弊社校正ゲージ。平均段差モードにて測定した場合の値。

外形寸法図

単位:mm



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