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ワンショット3D形状測定機 ヘッド

ワンショット3D形状測定機 ヘッド VR-3200

仕様

型式VR-3200
種類ヘッド
対応コントローラVR-3000
15型モニタ上倍率12×、25×、38×、50×(広視野モード)
40×、80×、120×、160×(高倍率モード)
観察測定範囲横(H):mm広視野モード:12×24.0
広視野モード:25×12.0
広視野モード:38×8.0
広視野モード:50×6.0
縦(V):mm広視野モード:12×18.0
広視野モード:25×9.0
広視野モード:38×6.0
広視野モード:50×4.5
横(H):mm高倍率モード:40×7.6
高倍率モード:80×3.8
高倍率モード:120×2.5
高倍率モード:160×1.9
縦(V):mm高倍率モード:40×5.7
高倍率モード:80×2.9
高倍率モード:120×1.9
高倍率モード:160×1.4
ズーム1~4倍
測定可能高さ※110mm(±5mm)(広視野モード)
1mm(±0.5mm)(高倍率モード)
表示分解能※20.1μm
繰り返し精度(σ)※3高さ測定0.5μm
幅測定1μm(広視野モード)
0.5μm(高倍率モード)
連結機能※4全自動(XY自動制御+オートフォーカス)測定
自動調整、自動テンプレート解析
ステージXYストローク184 x 88mm(電動)
Zストローク90mm(電動)
回転機構±180° (試料回転ステージ)
チルト機構±30°以上
作動距離75mm
撮像素子1型400万画素モノクロCMOS
投光レンズダブルテレセントリックレンズ x 2
受光レンズダブルテレセントリックレンズ
照明系観察用光源LEDリング照明(赤,緑,青)
測定用光源白色LED
画像サイズ1024×768pix, 2048×1
データ処理部弊社指定専用PC (OSはWindows7)※5
電源電源電圧AC100~240V±10% 50/60Hz
消費電力150VA
耐環境性使用周囲温度15~30℃
使用周囲湿度35~80%( ただし結露なきこと)
質量コントローラ3.8kg
ヘッド※628.0kg
※1焦点位置を中心に 低倍側±5mm、高倍側±0.5mmの範囲
※2高さ測定の分解能
※3弊社校正ゲージを使用し、高さ20回測定モード/幅20回測定モードで測定した値
※4連結モジュール(VR-H1J)が必要
※5Windows7 Professional および Ultimate
※6測定部単体 10.8kg

外形寸法図

単位:mm

外形寸法図_VR-3200
外形寸法図_VR-3200

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